[发明专利]复合蓝宝石基板磊晶LED显示模组的制造方法有效
| 申请号： | 201611079502.3 | 申请日： | 2016-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN106601725B | 公开（公告）日： | 2019-04-05 |
| 发明（设计）人： | 严敏;程君;周鸣波 | 申请（专利权）人： | 环视先进数字显示无锡有限公司 |
| 主分类号： | H01L25/075 | 分类号： | H01L25/075;H01L33/00;H01L33/62 |
| 代理公司： | 北京天奇智新知识产权代理有限公司 11340 | 代理人： | 刘黎明 |
| 地址： | 214131 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明实施例涉及一种复合蓝宝石基板磊晶LED显示模组的制造方法，包括：在蓝宝石基板的一侧表面进行图形化开槽，形成多个等间距的凹槽；在多个凹槽中的第(3m‑2)个凹槽和第(3m‑1)个凹槽间制作待填充槽；在待填充槽中定量填入硅酸盐焊料并在高温炉设备中加热，二次熔融后在填充槽内植入红光磊晶衬底方片；退火后在凹槽内淀积SiO2，形成隔离层；对表面进行碾磨抛光得到磊晶复合蓝宝石基板；进行分子束外延MBE磊晶，形成LED发光单元阵列；在LED发光单元阵列上制备磊晶电极和金属布线层；对蓝宝石基板的另一侧表面进行光栅刻录；在光学测试后将控制电路元件与金属布线层共晶焊接，形成复合蓝宝石基板磊晶LED显示模组。 | ||
| 搜索关键词： | 复合 蓝宝石 基板磊晶 led 显示 模组 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种复合蓝宝石基板磊晶LED显示模组的制造方法，其特征在于，所述方法包括：在蓝宝石基板的一侧表面进行图形化开槽，形成多个等间距的凹槽；在所述多个凹槽中的第(3m‑2)个凹槽和第(3m‑1)个凹槽间制作待填充槽；m为自然数；在所述待填充槽中定量填入硅酸盐焊料，并在高温炉设备中加热至熔融；在二次熔融后，在所述填充槽内植入红光磊晶衬底方片，并且所述红光磊晶衬底方片与所述蓝宝石基板的一侧表面处于同一平面；按照所述硅酸盐焊料的温度曲线进行退火；在所述凹槽内淀积SiO2，形成隔离层；对所述一侧表面进行碾磨抛光，得到磊晶复合蓝宝石基板；在所述磊晶复合蓝宝石基板上进行分子束外延MBE磊晶，形成LED发光单元阵列；在所述LED发光单元阵列上制备磊晶电极和金属布线层；对所述蓝宝石基板的另一侧表面进行光栅刻录；在光学测试后，将控制电路元件与所述金属布线层共晶焊接，形成所述复合蓝宝石基板磊晶LED显示模组。
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