[发明专利]应用于微机电系统的电子电路

摘要

一种应用于微机电系统的电子电路，以一信号感测单元、一滤波处理单元、一相位移单元、一第一反相器、一前处理单元、以及一类比‑数位转换处理单元组成，可以应用作为陀螺仪读取电路的一电子电路。特别地，此电子电路除了可以感测陀螺仪元件的一输出信号并输出一角速度信号至微机电系统的主控制器以外，还同时可以通过对该输出信号进行信号处理之后，输出互为反相的两个类比调整信号至陀螺仪元件的两个信号检出电极，以利用该两个类比调整信号来调整陀螺仪元件内部的质量块的振动幅度，借此方式补偿动态的跨轴耦合误差。

主权项

1.一种电子电路，应用于一微机电系统中，并电性连接至该微机电系统内的一陀螺仪元件，以应用为该陀螺仪元件的一读取电路；其特征在于，该电子电路包括：一信号感测单元，电性连接至该陀螺仪元件的一第一信号检出电极与一第二信号检出电极，用以接收该陀螺仪元件的一输出信号，并输出一感测信号；一滤波处理单元，耦接至该信号感测单元与该微机电系统内的一驱动电路，用以接收该感测信号与该驱动电路所输出的一弦波信号，并对该感测信号进行至少一滤波处理，以输出一第一信号；一相位移单元，耦接至该滤波处理单元，用以对该第一信号进行一相移处理，并输出一第一调整信号至该陀螺仪元件的该第一信号检出电极；一第一反相器，耦接至该相位移单元，用以反相该第一调整信号，并输出与该第一调整信号互为反相的一第二调整信号至该陀螺仪元件的该第二信号检出电极；一前处理单元，耦接至该信号感测单元以接收该感测信号，进而输出一第一信号；以及一类比-数位转换处理单元，耦接至该前处理单元，用以将该第一信号转换成一数位信号。