[发明专利]应用于微机电系统的电子电路

权利要求书

1.一种电子电路，应用于一微机电系统中，并电性连接至该微机电系统内的一陀螺仪元件，以应用为该陀螺仪元件的一读取电路；其特征在于，该电子电路包括：

一信号感测单元，电性连接至该陀螺仪元件的一第一信号检出电极与一第二信号检出电极，用以接收该陀螺仪元件的一输出信号，并输出一感测信号；

一滤波处理单元，耦接至该信号感测单元与该微机电系统内的一驱动电路，用以接收该感测信号与该驱动电路所输出的一弦波信号，并对该感测信号进行至少一滤波处理，以输出一第一信号；

一相位移单元，耦接至该滤波处理单元，用以对该第一信号进行一相移处理，并输出一第一调整信号至该陀螺仪元件的该第一信号检出电极；

一第一反相器，耦接至该相位移单元，用以反相该第一调整信号，并输出与该第一调整信号互为反相的一第二调整信号至该陀螺仪元件的该第二信号检出电极；

一前处理单元，耦接至该信号感测单元以接收该感测信号，进而输出一第一信号；以及

一类比-数位转换处理单元，耦接至该前处理单元，用以将该第一信号转换成一数位信号。

2.如权利要求1所述的电子电路，其特征在于，该信号感测单元为一电荷放大器。

3.如权利要求1所述的电子电路，其特征在于，该前处理单元由一可编程增益放大器与一低通滤波器所组成。

4.如权利要求1所述的电子电路，其特征在于，该滤波处理单元包括：

一带通滤波器，耦接该信号感测单元以接收该感测信号，并对该感测信号执行一带通滤波处理；

一乘法器，耦接该带通滤波器与该微机电系统内的该驱动电路，以接收完成该带通滤波处理的该感测信号以及该弦波信号，并将该感测信号与该驱动检测信号进行乘法运算，以解调出一第二信号；

一低通滤波器，耦接该乘法器，以对该第二信号执行一低通滤波处理，并输出该第一调整信号。

5.如权利要求3所述的电子电路，其特征在于，该感测信号为该电荷放大器所输出的一电压信号。

6.如权利要求4所述的电子电路，其特征在于，一第二反相器耦接于该滤波处理单元的该低通滤波器与该相位移单元之间，用以对该第一调整信号进行一反相处理。

7.一种电子电路，应用于一微机电系统中，并电性连接至该微机电系统内的一陀螺仪元件，以应用为该陀螺仪元件的一读取电路；其特征在于，该电子电路包括：

一信号感测单元，电性连接至该陀螺仪元件的一第一信号检出电极与一第二信号检出电极，用以接收该陀螺仪元件的一输出信号，并输出一感测信号；

一前处理单元，耦接至该信号感测单元以接收该感测信号，进而输出一第一信号；

一类比-数位转换处理单元，耦接至该前处理单元，用以将该第一信号转换成一数位信号；

一相位移单元，包括：

一相移器，耦接至该微机电系统内的一驱动电路，用以接收该驱动电路所输出的一弦波信号，用以对该弦波信号进行一相移处理，并输出一第一相位调整弦波信号；及

一比例积分微分控制器，耦接该相移器与该类比-数位转换处理单元；其中，该比例积分微分控制器根据接收自该类比-数位转换处理单元的一跨轴相位与一相位参数而输出一相位调制控制信号至该相移器；以及

一第一反相器，耦接至该相位移单元，用以反相该第一相位调整弦波信号，并输出与该第一相位调整弦波信号互为反相的一第二相位调整弦波信号至该陀螺仪元件的该第二信号检出电极。

8.如权利要求7所述的电子电路，其特征在于，该信号感测单元为一电荷放大器。

9.如权利要求7所述的电子电路，其特征在于，该前处理单元由一可编程增益放大器与一低通滤波器所组成。

10.如权利要求7所述的电子电路，其特征在于，该相位移单元还包括：一温度补偿控制单元，用以监控该陀螺仪元件的一环境温度，进而输出一温度补偿信号至该相移器。