[发明专利]一种电辅助的氮化物晶体生长装置及方法有效
| 申请号： | 201610966496.7 | 申请日： | 2016-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN106498499B | 公开（公告）日： | 2019-02-19 |
| 发明（设计）人： | 李成明;王琦;胡耀华;巫永鹏;陈蛟;张耿;郑小平;卢洪;李顺峰;张国义 | 申请（专利权）人： | 北京大学东莞光电研究院 |
| 主分类号： | C30B29/40 | 分类号： | C30B29/40;C30B30/02;C30B7/14 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 罗晓林;杨桂洋 |
| 地址： | 523000 广东省东莞*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电辅助的氮化物晶体生长装置和方法，包括反应釜和设置在该反应釜内的坩埚，坩埚内填充有反应物溶液，坩埚内底面放置有被反应物溶液浸没的晶种模板，反应釜上设有氮气进口和排气口，还包括电装置，该电装置包括电压源、上电极和下电极，上电极和下电极分别通过导线与电压源连接，上电极延伸至坩埚内且位于反应物溶液的液面上方，下电极设在反应物溶液内。本发明提高了氮化镓单晶晶体质量及生长速率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 辅助 氮化物 晶体生长 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种电辅助的氮化物晶体生长装置，包括反应釜和设置在该反应釜内的坩埚，坩埚内填充有反应物溶液，坩埚内底面放置有被反应物溶液浸没的晶种模板，反应釜上设有氮气进口和排气口，其特征在于，还包括电装置，该电装置包括电压源、上电极和下电极，上电极和下电极分别通过导线与电压源连接，上电极延伸至坩埚内且位于反应物溶液的液面上方，下电极设在反应物溶液内并且与晶种模板连接。
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