[发明专利]具有方位角与径向分布控制的多区域气体注入组件

摘要

描述具有方位角与径向分布控制的多区域气体注入组件。一种气体注入系统包括：(a)侧部气体气室；(b)耦接于所述侧部气体气室的多数N个气体入口；(c)从所述气室径向向内延伸的数个侧部气体出口；(d)N通道气体流率控制器，所述N通道气体流率控制器具有分别耦接于所述N个气体入口的N个输出；及(e)M通道气体流率控制器，所述M通道气体流率控制器具有M个输出，所述M个输出的个别一者耦接于所述可调整的气体喷嘴与所述N通道气体流率控制器的气体输入。

主权项

1.一种侧部气体注入套组，包括：顶部衬垫环，所述顶部衬垫环包括数个喷嘴囊以及数个气体传送插件囊；数个侧部气体注入喷嘴，所述数个侧部气体注入喷嘴延伸进入所述喷嘴囊，所述数个侧部气体注入喷嘴的每一者包括：圆柱形外部喷嘴表面与数个O型环喷嘴槽，所述数个O型环喷嘴槽在所述外部喷嘴表面中并且与所述侧部气体注入喷嘴同中心；第一组O型环，所述第一组O型环在所述数个O型环喷嘴槽中，所述第一组O型环压抵所述喷嘴囊的对应一者的内部侧壁；以及延伸进入所述气体传送插件囊的数个气体传送插件，所述气体传送插件的每一者包括：与所述气体传送插件同中心的数个O型环插件槽，以及在所述数个O型环插件槽中的第二组O型环，所述第二组O型环压抵所述数个气体传送插件囊的对应一者的内部侧壁。