[发明专利]玻璃中介层结构及其制备方法在审
| 申请号： | 201610680281.9 | 申请日： | 2016-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN106206466A | 公开（公告）日： | 2016-12-07 |
| 发明（设计）人： | 陈盈宪;郑造时;徐文斌 | 申请（专利权）人： | 友达光电（昆山）有限公司;友达光电股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/15 | 分类号： | H01L23/15;H01L21/48 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明关于玻璃中介层结构及其制备方法，玻璃中介层结构包括基板，该基板具有相对的第一表面和第二表面，缓冲层，该缓冲层设置于该第一表面上；导电性抗蚀刻层，该导电性抗蚀刻层设置于该缓冲层上；第一电气配线，该第一电气配线设置于该导电性抗蚀刻层上；通孔，该通孔包括第一贯穿孔和第二贯穿孔，该第一贯穿孔贯穿该基板，该第二贯穿孔贯穿该缓冲层，且该第一贯穿孔与该第二贯穿孔相连通；以及第二电气配线，该第二电气配线设置于该第二表面，且该第二电气配线填充于该第一贯穿孔与该第二贯穿孔中，经由该导电性抗蚀刻层使得该第一电气配线与该第二电气配线电性连接。藉由缓冲层与导电性抗蚀刻层，使得玻璃中介层结构制程良率显著增加。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃 中介 结构 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种玻璃中介层结构，包括，基板，该基板具有相对的第一表面和第二表面，其特征在于，还包括：缓冲层，该缓冲层设置于该第一表面上；导电性抗蚀刻层，该导电性抗蚀刻层设置于该缓冲层上；第一电气配线，该第一电气配线设置于该导电性抗蚀刻层上；通孔，该通孔包括第一贯穿孔和第二贯穿孔，该第一贯穿孔贯穿该基板，该第二贯穿孔贯穿该缓冲层，且该第一贯穿孔与该第二贯穿孔相连通；以及第二电气配线，该第二电气配线设置于该第二表面，且该第二电气配线填充于该第一贯穿孔与该第二贯穿孔中，经由该导电性抗蚀刻层使得该第一电气配线与该第二电气配线电性连接。
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