[发明专利]一种氮化铬涂层的制备方法在审
| 申请号： | 201610411124.8 | 申请日： | 2016-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN107488830A | 公开（公告）日： | 2017-12-19 |
| 发明（设计）人： | 马景元 | 申请（专利权）人： | 沈阳科蓝纳米涂层技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 110000 辽宁省沈阳*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明提供一种氮化铬涂层的制备方法，涉及一种涂层制备技术领域。该发明将待涂覆的工件放置于容纳金属靶标和含氮气的气体混合物的室中；从金属靶标蒸发金属，产生金属蒸气以与含氮气的气体混合物中的氮气反应，在基材上形成一层均匀、致密的铬材料层；将已涂覆的工件放入微波装置中，在氮气氛下进行微波加热；微波加热采用的微波功率为10‑15KW，加热时间为0.1‑1小时。将微波作用后的工件进行表面清洗、抛光，在工件表面获得氮化铬涂层。本发明抗粘效果非常好，寿命比碳氮化钛涂层提高1.2倍。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氮化 涂层 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种氮化铬涂层的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：S10、将待涂覆的工件放置于容纳金属靶标和含氮气的气体混合物的室中；从金属靶标蒸发金属，产生金属蒸气以与含氮气的气体混合物中的氮气反应，在基材上形成一层均匀、致密的铬材料层；S20、将已涂覆的工件放入微波装置中，在氮气氛下进行微波加热；微波加热采用的微波功率为10‑15KW，加热时间为0.1‑1小时。S30、将微波作用后的工件进行表面清洗、抛光，在工件表面获得氮化铬亚涂层；S40、从金属靶标中继续蒸发金属，产生金属蒸气以与含氮气的气体混合物中的氮气反应，在基材上形成另一层均匀、致密的铬材料层；S50、将再次涂覆好的工件放入微波装置中，在氮气氛下进行微波加热；S60、将二次微波作用后的工件进行表面清洗、抛光，在工件表面获得氮化铬涂层。
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