[发明专利]一种氮化铬涂层的制备方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种涂层制备技术领域，特别是涉及一种氮化铬涂层的制备方法。

背景技术

氮化铬涂层是一种新型性能优异的硬质涂层，以其较高的硬度、耐磨性、防腐蚀性以及良好的力学性能和抗高温氧化性能而被广泛应用于风电行业等诸多领域，在工程中有很大的应用前景。

发明内容

针对上述问题中存在的不足之处，本发明提供一种氮化铬涂层的制备方法，使其抗粘效果非常好，寿命比碳氮化钛涂层提高1.2倍。

为了解决上述问题，本发明提供一种氮化铬涂层的制备方法，其中，包括以下步骤：

S10、将待涂覆的工件放置于容纳金属靶标和含氮气的气体混合物的室中；从金属靶标蒸发金属，产生金属蒸气以与含氮气的气体混合物中的氮气反应，在基材上形成一层均匀、致密的铬材料层；

S20、将已涂覆的工件放入微波装置中，在氮气氛下进行微波加热；微波加热采用的微波功率为10-15KW，加热时间为0.1-1小时。

S30、将微波作用后的工件进行表面清洗、抛光，在工件表面获得氮化铬亚涂层；

S40、从金属靶标中继续蒸发金属，产生金属蒸气以与含氮气的气体混合物中的氮气反应，在基材上形成另一层均匀、致密的铬材料层；

S50、将再次涂覆好的工件放入微波装置中，在氮气氛下进行微波加热；

S60、将二次微波作用后的工件进行表面清洗、抛光，在工件表面获得氮化铬涂层。

优选的，第一微波作用后，在工件表面获得氮化铬涂层为厚度大于0.4微米的第一亚层。

优选的，第二微波作用后，在工件表面获得氮化铬涂层为厚度大于0.4微米的第二亚层。

与现有技术相比，本发明具有以下优点：

普通的丝锥涂层为碳氮化钛，在风电行业中，由于被加工件材质的特性，本发明采用的氮化铬涂层，氮化铬涂层抗粘效果非常好，寿命比碳氮化钛涂层提高1.2倍。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，下面结合实例对本发明作进一步详细说明，但所举实例不作为对本发明的限定。

本发明的实施例以下步骤：

S10、将待涂覆的工件放置于容纳金属靶标和含氮气的气体混合物的室中；从金属靶标蒸发金属，产生金属蒸气以与含氮气的气体混合物中的氮气反应，在基材上形成一层均匀、致密的铬材料层；

S20、将已涂覆的工件放入微波装置中，在氮气氛下进行微波加热；微波加热采用的微波功率为10-15KW，加热时间为0.1-1小时。

S30、将微波作用后的工件进行表面清洗、抛光，在工件表面获得氮化铬亚涂层；

S40、从金属靶标中继续蒸发金属，产生金属蒸气以与含氮气的气体混合物中的氮气反应，在基材上形成另一层均匀、致密的铬材料层；

S50、将再次涂覆好的工件放入微波装置中，在氮气氛下进行微波加热；

S60、将二次微波作用后的工件进行表面清洗、抛光，在工件表面获得氮化铬涂层。

优选的，第一微波作用后，在工件表面获得氮化铬涂层为厚度大于0.4微米的第一亚层。

优选的，第二微波作用后，在工件表面获得氮化铬涂层为厚度大于0.4微米的第二亚层。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。