[发明专利]一种氮化铬涂层的制备方法在审
| 申请号： | 201610411124.8 | 申请日： | 2016-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN107488830A | 公开（公告）日： | 2017-12-19 |
| 发明（设计）人： | 马景元 | 申请（专利权）人： | 沈阳科蓝纳米涂层技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 110000 辽宁省沈阳*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 氮化 涂层 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种氮化铬涂层的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
S10、将待涂覆的工件放置于容纳金属靶标和含氮气的气体混合物的室中；从金属靶标蒸发金属，产生金属蒸气以与含氮气的气体混合物中的氮气反应，在基材上形成一层均匀、致密的铬材料层；
S20、将已涂覆的工件放入微波装置中，在氮气氛下进行微波加热；微波加热采用的微波功率为10-15KW，加热时间为0.1-1小时。
S30、将微波作用后的工件进行表面清洗、抛光，在工件表面获得氮化铬亚涂层；
S40、从金属靶标中继续蒸发金属，产生金属蒸气以与含氮气的气体混合物中的氮气反应，在基材上形成另一层均匀、致密的铬材料层；
S50、将再次涂覆好的工件放入微波装置中，在氮气氛下进行微波加热；
S60、将二次微波作用后的工件进行表面清洗、抛光，在工件表面获得氮化铬涂层。
2.如权利要求1所述的氮化铬涂层的制备方法，其特征在于，第一微波作用后，在工件表面获得氮化铬涂层为厚度大于0.4微米的第一亚层。
3.如权利要求1所述的氮化铬涂层的制备方法，其特征在于，第二微波作用后，在工件表面获得氮化铬涂层为厚度大于0.4微米的第二亚层。
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