[发明专利]用于三维集成结构的改善布线有效

专利信息
申请号: 201610355354.7 申请日: 2016-05-25
公开(公告)号: CN106898598B 公开(公告)日: 2021-01-01
发明(设计)人: A·艾尔斯;B·博罗特 申请(专利权)人: 意法半导体(克洛尔2)公司
主分类号: H01L23/538 分类号: H01L23/538;H01L21/768
代理公司: 北京市金杜律师事务所 11256 代理人: 王茂华
地址: 法国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 本公开提供用于三维集成结构的改善布线。三维集成结构由具有定向在第一方向上的第一部件的第一衬底和具有定向在第二方向上的第二部件的第二衬底形成。互连层级包括在第三方向上行进的导电轨道。第二方向和第三方向之一与第一方向形成非直角并且非零角。由导电轨道中的至少一个导电轨道形成的电链路电连接第一或第二部件的两个点。
搜索关键词: 用于 三维 集成 结构 改善 布线
【主权项】:
一种三维集成结构,包括:第一衬底,包括定向在至少第一优选方向上的第一部件,第二衬底,包括定向在至少第二方向上的第二部件,以及至少一个互连层级,包括在至少第三方向上行进的导电轨道,其中所述第二方向和所述第三方向之一与第一方向形成非直角并且非零角,使得所述第一部件和所述第二部件之一的两个点通过第一电链路连接,所述第一电链路包括所述至少一个互连层级的所述导电轨道中的至少一个导电轨道。
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