[发明专利]用于金属熔丝应用的堆叠通道结构有效
| 申请号： | 201610161586.9 | 申请日： | 2012-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN105810668B | 公开（公告）日： | 2018-07-03 |
| 发明（设计）人： | R.G.菲利皮;G.伯尼拉;K.钱达;S.格鲁诺;N.E.鲁斯蒂格;A.H.西蒙;王平川 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | H01L23/62 | 分类号： | H01L23/62;H01L21/82;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 邱军 |
| 地址： | 美国纽*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种具有堆叠的通道(122,132)的后段制程(BOEL)熔丝结构。通道(122,132)堆叠导致高深宽比，而使得通道内的衬里和种子覆盖更差。衬里(124)和种子层的弱化导致电迁移(EM)失效的较高概率。该熔丝结构解决了因差的衬里和种子覆盖引起的失效。设计特征允许确定失效发生在何处、确定在熔丝编程后受损害区域的程度，并防止受损害电介质区域的进一步蔓延。 | ||
| 搜索关键词： | 衬里 熔丝结构 种子覆盖 堆叠 电介质区域 堆叠通道 高深宽比 后段制程 金属熔丝 设计特征 电迁移 高概率 种子层 熔丝 编程 损害 弱化 应用 | ||
【主权项】：
1.一种用于电检测导电通道和导电线中的失效的方法，包括以下步骤：使得电流通过正电流连接件(I+)和负电流连接件(I‑)之间的熔丝结构；测量所述熔丝结构中第一电压连接件和第二电压连接件的每个的电压；以及检测导电通道(122)和导电线(133)之一中的失效；其中如果断路存在于所述第一电压连接件和所述第二电压连接件两者处，使得当施加电流时在所述第一电压连接件和所述第二电压连接件处没有电流流动，则失效发生在所述导电通道(122)中；以及其中如果断路仅存在于所述第一电压连接件和所述第二电压连接件之一处，使得当施加电流时在所述第一电压连接件和所述第二电压连接件之一处没有电流流动，则失效发生在导电线(133)中。
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