[发明专利]静电放电保护结构及其形成方法

摘要

一种静电放电保护结构及其形成方法，所述静电放电保护结构包括：基底，所述基底表面形成有鳍部；横跨所述鳍部的第一栅极结构；位于所述第一栅极结构一侧鳍部中的第一掺杂区；位于所述第一栅极结构另一侧鳍部中的第二掺杂区；位于所述第一掺杂区表面的第一导电结构；位于所述第二掺杂区表面的第二导电结构；位于所述第一栅极结构上，且与所述第一栅极结构相接触的第一散热结构。本发明通过在第一栅极结构上设置与第一栅极结构相接触的第一散热结构，将第一栅极结构上的热量导出，能够实现所述第一栅极结构的热量通过所述散热结构的热传导而散逸，缓解了所述静电放电保护结构的自发热问题，提高了静电放电保护结构的性能。

主权项

1.一种静电放电保护结构，其特征在于，包括：基底，所述基底表面形成有鳍部；横跨所述鳍部的第一栅极结构，所述第一栅极结构覆盖所述鳍部的部分侧壁和顶部表面；位于所述第一栅极结构一侧鳍部中的第一掺杂区，所述第一掺杂区内具有第一类型离子；位于所述第一栅极结构另一侧鳍部中的第二掺杂区，所述第二掺杂区内具有第二类型离子；位于所述第一掺杂区表面的第一导电结构，用于输入第一电压信号；位于所述第二掺杂区表面的第二导电结构，用于输入第二电压信号，所述第二电压信号和所述第一电压信号不相等；位于所述第一栅极结构上，且与所述第一栅极结构相接触的第一散热结构。