[发明专利]静电放电保护器件

摘要

一种静电放电保护结构，包括基底，包括用于器件区，所述器件区表面具有栅极结构以及介质层；所述器件区包括中间区域和边缘区域；位于所述介质层表面的多个散热结构，中间区域的散热结构为第一散热结构，边缘区域的散热结构为第二散热结构，所述第一散热结构的面积大于所述第二散热结构的面积。本发明通过设置散热结构增强所述栅极结构的散热能力；而且第一散热结构的面积大于所述第二散热结构的面积，因此中间区域栅极结构的散热能力强于边缘区域栅极结构，改善了不同位置栅极结构存在温度差的问题，提高了不同位置栅极结构温度的均匀性，提高了不同位置晶体管的阈值电压的均匀性，提高了晶体管开启的均匀性。

主权项

一种静电放电保护器件，其特征在于，包括：基底，包括用于形成静电放电保护结构的器件区，所述器件区的基底表面形成有栅极结构以及覆盖所述栅极结构的介质层；与基底表面平行的平面内在垂直栅极结构延伸方向上，所述器件区包括中间区域和边缘区域；位于所述介质层表面的多个散热结构，多个所述散热结构位于所述栅极结构上方，位于中间区域栅极结构上方的散热结构为第一散热结构，位于边缘区域栅极结构上方的散热结构为第二散热结构，所述第一散热结构的面积大于所述第二散热结构的面积。