[发明专利]一种大尺寸AMOLED显示基板及其制作方法

摘要

本发明涉及一种AMOLED及其制作方法。所述AMOLED的制作工艺包括如下步骤：1)在基底上表面形成TFT器件；2)在基底下表面形成功能层；3)由TFT器件和功能层组成蒸镀基板，将蒸镀基板的功能层一侧贴附在承载基台上；4)将贴附在承载基台上的蒸镀基板通过蒸镀设备，蒸镀处理后在器件表面形成有机电致发光材料层；5)在封装基台上进行封装，形成保护层；6)移除封装基台，得到AMOLED显示基板。本发明通过溶液制程法将纳米磁性无机物制作在基板背面，使基板具有磁性，改善了大尺寸AMOLED基板与Mask贴附方式，提升了工艺良率；通过改善纳米磁性无机物在基板上的图案化设计，减小基板在生产过程中产生的静电，从而减少静电积累放电对TFT电路及AMOLED性能的影响。

主权项

1.一种AMOLED显示基板的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：1)在基底上表面形成TFT器件；2)在基底下表面形成功能层，所述功能层的制备包括如下步骤：S21、通过涂布工艺或者旋涂工艺在基底下表面形成硅氧烷材料层；S22、将磁性纤蛇纹石纳米管材料分散在溶剂中，通过溶液制程法在硅氧烷材料层上形成图案化，再对硅氧烷材料层进行低温固化成型，形成功能层；3)由TFT器件和功能层组成蒸镀基板，将蒸镀基板的功能层一侧贴附在承载基台上；4)将贴附在承载基台上的蒸镀基板通过蒸镀设备中的In‑Line装置，蒸镀处理后在器件表面形成有机电致发光材料层；5)在封装基台上对有机电致发光材料层进行封装，形成保护层；6)移除封装基台，得到AMOLED显示基板。