[发明专利]一种微纳毛细管等内径刻蚀制备不同形貌尖端的方法及系统

摘要

一种微纳毛细管等内径刻蚀制备不同形貌尖端的方法及系统，属于微加工领域。氢氟酸刻蚀舱、水浴加热套管、循环水浴泵、导管、管内气压控制装置。本发明的刻蚀方法包括：双套管刻蚀，单套管刻蚀，裸管刻蚀和液面刻蚀四种。本发明可制备，锥形长度为1～10mm，锥尖外径1～500μm，内径为0.1～450μm的等内径毛细管尖端，精确取液的下限体积为飞升级。在等内径下，取样体积与液段长度线性相关，大大简化了体积计算和取样压力控制过程，实现了取样体积可视化，提高了取液精度。本法所得毛细管尖端具有多种用途如：用于动植物细胞活体取样，作为质谱进样针使用等。

主权项

1.一种微纳毛细管等内径刻蚀制备不同形貌尖端的系统，其特征在于：包括氢氟酸刻蚀舱(1)、水浴加热套管(2)、循环水浴泵(3)、导管(4)、管内气压控制装置(5)；水浴加热套管(2)通过导管(4)与控制温度的循环水浴泵(3)连接，构成循环加热系统；氢氟酸刻蚀舱(1)穿过水浴加热套管(2)预设的加热管道，氢氟酸刻蚀舱(1)的两端分别与管内气压控制装置(5)连接；氢氟酸刻蚀舱包括一耐酸塑料管(11)、一带外皮的石英毛细管(7)、Peek管A(9)、Peek管B(15)、离心管水封头A(8)、离心管水封头B(16)、橡胶塞A(10)、橡胶塞B(14)、毛细管去皮段(12)、氢氟酸液(3)；一耐酸塑料管(11)内封装氢氟酸液(3)，耐酸塑料管(11)的两端采用橡胶塞A和橡胶塞B封口，Peek管A(9)和Peek管B(15)分别经由耐酸塑料管(11)的两端的橡胶塞A和橡胶塞B支撑固定，且可沿耐酸塑料管(11)的轴线向耐酸塑料管(11)内外移动，带外皮的石英毛细管(7)在Peek管A(9)和Peek管B(15)内沿轴向贯穿Peek管A(9)和Peek管B(15)；离心管水封头A(8)和离心管水封头B(16)分别将耐酸塑料管(11)外的Peek管A(9)端口和Peek管B(15)端口与带外皮的石英毛细管(7)的表面密封在一起；带外皮的石英毛细管(7)的两端分别超出两个离心管水封头，带外皮的石英毛细管(7)的两端分别与管内气压控制装置(5)连通；在耐酸塑料管(11)内部Peek管A(9)和Peek管B(15)之间留有距离可调，在此距离间，石英毛细管的外皮预先去掉构成毛细管去皮段。