[发明专利]金属氧化物金属电容器电路及其半导体装置有效
| 申请号： | 201610010155.2 | 申请日： | 2016-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN105938828B | 公开（公告）日： | 2019-03-08 |
| 发明（设计）人： | 河端正藏;伊藤伸彦 | 申请（专利权）人： | 力晶科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/64 | 分类号： | H01L23/64;H01L27/11517 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 王珊珊 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种使用形成于基板上的金属电极通过多个电容器形成的电容器电路，以使得与现有技术相比可以更精确地调整电容器的电容。MOM电容器包含分别通过透过基板上的绝缘薄膜面向彼此的多对金属电极形成的多个MOM(金属氧化物金属)电容器。MOM电容器电路是以MOM电容器的金属电极对中的每一者经由连接导体连接至第一端子及第二端子的方式并通过至少一个电容器组件形成；以及至少一个开关组件，其连接至所述多个金属电极以及第一端子及第二端子中的至少一者，其中所述MOM电容器电路的电容是通过接通/断开所述开关组件而进行调整。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 氧化物 电容器 电路 及其 半导体 装置 | ||
【主权项】：
1.一种MOM电容器电路，其包括：多个MOM(金属氧化物金属)电容器，其分别通过多个金属电极中的、透过基板上的绝缘薄膜面向彼此的一对金属电极形成，其中所述MOM电容器电路是以所述多个金属电极中的每一者经由连接导体连接至第一端子及第二端子的方式并通过至少一个电容器组件形成；以及一或多个开关组件，其连接至所述多个金属电极以及所述第一端子及所述第二端子中的至少一者，其中所述MOM电容器电路的电容是通过接通或断开所述开关组件而进行调整，所述MOM电容器电路更包括：具有可变电容的调整电容部分，其中所述调整电容部分具有多个第一金属电极，且所述多个第一金属电极的至少一部分经由所述开关组件中的每一者连接至所述第一端子或所述第二端子；以及具有固定电容的固定电容部分，其中所述固定电容部分具有多个第二金属电极，且所述多个第二金属电极分别连接至所述第一端子或所述第二端子。
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