[发明专利]马达、驱动器、半导体制造装置以及平板显示器制造装置

摘要

提供一种能够更可靠地防止在内部产生的灰尘流出到外部的马达。马达(1)具有：定子(21)；转子(22)；转子外壳(42)，其与转子(22)一起旋转；定子外壳(41)，定子(21)固定于该定子外壳(41)，并且在该定子外壳(41)与转子外壳(42)之间设有空间(100A、100B)，该定子外壳(41)在整个周向上隔开第1间隙(6A、6B)与转子外壳(42)重叠；圆环构件(10、18)，其在空间(100A、100B)内，在整个周向上隔开第2间隙(8A、8B)与定子外壳(41)重叠；排气孔(13A、13B)，其用于经由第2间隙(8A、8B)抽吸并排出空间(100A、100B)的内部的空气；以及排气槽(12A、12B)，其介于第2间隙(8A、8B)与排气孔(13A、13B)之间，沿着第2间隙(8A、8B)设于定子外壳(41)的整个周向上。

主权项

1.一种马达，其具有：定子，其包括线圈和定子芯；转子，其配置于所述定子的径向外侧，能相对于所述定子相对旋转；转子外壳，其与所述转子一起旋转；定子外壳，所述定子固定于该定子外壳，并且在该定子外壳与所述转子外壳之间设有第1空间和第2空间，在所述第1空间与外部之间，该定子外壳在整个周向上隔开第1间隙与所述转子外壳重叠，在所述第2空间与外部之间，该定子外壳在整个周向上隔开第3间隙与所述转子外壳重叠；轴承，其相对于所述定子外壳以旋转自如的方式支承所述转子外壳；圆环构件，其在所述第1空间内，在整个周向上隔开第2间隙与所述定子外壳重叠，并在所述第2空间内，在整个周向上隔开第4间隙与所述定子外壳重叠；排气孔，其用于经由所述第2间隙抽吸并排出所述第1空间的内部的空气，且用于经由所述第4间隙抽吸并排出所述第2空间的内部的空气；以及排气槽，其介于所述第2间隙与所述排气孔之间，沿着所述第2间隙设于所述定子外壳的整个周向上，且介于所述第4间隙与所述排气孔之间，沿着所述第4间隙设于所述定子外壳的整个周向上。