[发明专利]马达、驱动器、半导体制造装置以及平板显示器制造装置

说明书

提供一种能够更可靠地防止在内部产生的灰尘流出到外部的马达。马达(1)具有：定子(21)；转子(22)；转子外壳(42)，其与转子(22)一起旋转；定子外壳(41)，定子(21)固定于该定子外壳(41)，并且在该定子外壳(41)与转子外壳(42)之间设有空间(100A、100B)，该定子外壳(41)在整个周向上隔开第1间隙(6A、6B)与转子外壳(42)重叠；圆环构件(10、18)，其在空间(100A、100B)内，在整个周向上隔开第2间隙(8A、8B)与定子外壳(41)重叠；排气孔(13A、13B)，其用于经由第2间隙(8A、8B)抽吸并排出空间(100A、100B)的内部的空气；以及排气槽(12A、12B)，其介于第2间隙(8A、8B)与排气孔(13A、13B)之间，沿着第2间隙(8A、8B)设于定子外壳(41)的整个周向上。

技术领域

本发明涉及马达、驱动器、半导体制造装置以及平板显示器制造装置。

背景技术

应用于半导体制造装置、平板显示器制造装置的马达、使用了该马达的驱动器要求有较高的可靠性。另外，在半导体、平板显示器等的制造中，为了避免灰尘混入制造物，需要清洁环境下的制造工序。在这样的清洁环境下使用的马达、驱动器为了确保较高的可靠性，需要防止在马达、驱动器的内部产生的灰尘流出到外部。

例如，在专利文献1中记载有这样一种密封装置：通过自两个凸缘部之间的空气室抽吸空气，从而自凸缘部与工作轴之间的间隙抽吸空气，防止来自非清洁环境的垃圾侵入清洁环境内。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平09-29682号公报

发明内容

发明要解决的问题

专利文献1所述的密封装置自清洁环境侧的凸缘部与工作轴之间的间隙、以及非清洁环境侧的凸缘部与工作轴之间的间隙这两者抽吸空气，而认为会在空气室内产生压力分布。另外，在清洁环境侧和非清洁环境侧之间存在压力差的情况下，空气自非清洁环境侧漏出到清洁环境侧，而可能污染清洁环境。

本发明即是鉴于上述情况而做成的，其目的在于提供一种能够更可靠地防止在内部产生的灰尘流出到外部的马达。

用于解决问题的方案

为了解决上述课题并达成目的，本发明提供一种马达，该马达具有：定子，其包括线圈和定子芯；转子，其配置于所述定子的径向外侧，能相对于所述定子相对旋转；转子外壳，其与所述转子一起旋转；定子外壳，所述定子固定于该定子外壳，并且在该定子外壳与所述转子外壳之间设有空间，该定子外壳在整个周向上隔开第1间隙与所述转子外壳重叠；轴承，其相对于所述定子外壳以旋转自如的方式支承所述转子外壳；圆环构件，其在所述空间内，在整个周向上隔开第2间隙与所述定子外壳重叠；排气孔，其用于经由所述第2间隙抽吸并排出所述空间的内部的空气；以及排气槽，其介于所述第2间隙与所述排气孔之间，沿着所述第2间隙设于所述定子外壳的整个周向上。

根据上述结构，通过在形成于定子外壳的排气孔连接抽吸排气装置并使抽吸排气装置工作，从而自节气部均匀地吸出马达的内部的空气。由此，能够可靠地防止在马达的内部产生的灰尘流出到外部。