[发明专利]马达、驱动器、半导体制造装置以及平板显示器制造装置

权利要求书

1.一种马达，其具有：

定子，其包括线圈和定子芯；

转子，其配置于所述定子的径向外侧，能相对于所述定子相对旋转；

转子外壳，其与所述转子一起旋转；

定子外壳，所述定子固定于该定子外壳，并且在该定子外壳与所述转子外壳之间设有第1空间和第2空间，在所述第1空间与外部之间，该定子外壳在整个周向上隔开第1间隙与所述转子外壳重叠，在所述第2空间与外部之间，该定子外壳在整个周向上隔开第3间隙与所述转子外壳重叠；

轴承，其相对于所述定子外壳以旋转自如的方式支承所述转子外壳；

圆环构件，其在所述第1空间内，在整个周向上隔开第2间隙与所述定子外壳重叠，并在所述第2空间内，在整个周向上隔开第4间隙与所述定子外壳重叠；

排气孔，其用于经由所述第2间隙抽吸并排出所述第1空间的内部的空气，且用于经由所述第4间隙抽吸并排出所述第2空间的内部的空气；以及

排气槽，其介于所述第2间隙与所述排气孔之间，沿着所述第2间隙设于所述定子外壳的整个周向上，且介于所述第4间隙与所述排气孔之间，沿着所述第4间隙设于所述定子外壳的整个周向上。

2.根据权利要求1所述的马达，其中，

所述定子外壳包括：

第1定子外壳，其由在以所述转子的旋转中心为轴心的轴线方向上夹持所述轴承的内圈的至少两个构件形成；

第2定子外壳，其设于所述第1定子外壳的所述轴线方向上的一端侧，在该第2定子外壳与所述第1定子外壳之间设有第1所述排气槽，并且固定有第1所述圆环构件，在该第2定子外壳与第1所述圆环构件之间设有所述第2间隙；以及

第3定子外壳，其设于所述第1定子外壳的所述轴线方向上的另一端侧，在该第3定子外壳与所述第1定子外壳之间设有第2所述排气槽，并且固定有第2所述圆环构件，在该第3定子外壳与第2所述圆环构件之间设有所述第4间隙，

所述转子外壳由在所述轴线方向上夹持所述轴承的外圈的至少两个构件形成，

在所述转子外壳与所述第2定子外壳之间设有所述第1间隙，并且所述转子外壳与所述第1定子外壳、所述第2定子外壳以及所述轴承一起划分出第1所述空间，

在所述转子外壳与所述第3定子外壳之间设有所述第4间隙，并且所述转子外壳与所述第1定子外壳、所述第3定子外壳、所述轴承一起划分出第2所述空间。

3.根据权利要求2所述的马达，其中，

第1所述圆环构件在与所述第2定子外壳相对的面设有用于在其与所述第2定子外壳之间形成所述第2间隙的台阶。

4.根据权利要求2所述的马达，其中，

所述第2定子外壳在与第1所述圆环构件相对的面设有用于在其与第1所述圆环构件之间形成所述第2间隙的台阶。

5.根据权利要求2所述的马达，其中，

该马达包括间隔构件，该间隔构件介于第1所述圆环构件与所述第2定子外壳之间，用于在第1所述圆环构件与所述第2定子外壳之间设置所述第2间隙。

6.根据权利要求2所述的马达，其中，

第2所述圆环构件在与所述第3定子外壳相对的面设有用于在其与所述第3定子外壳之间形成所述第4间隙的台阶。

7.根据权利要求2所述的马达，其中，

所述第3定子外壳在与第2所述圆环构件相对的面设有用于在其第2所述圆环构件之间形成所述第4间隙的台阶。

8.根据权利要求2所述的马达，其中，

该马达包括间隔构件，该间隔构件介于第2所述圆环构件与所述第3定子外壳之间，用于在第2所述圆环构件与所述第3定子外壳之间设置所述第4间隙。

9.根据权利要求2所述的马达，其中，

所述第2定子外壳在与所述第1定子外壳在径向上重叠的嵌合面设有槽部，在该槽部设有O形密封圈。