[发明专利]散热基板和该散热基板的制造方法在审
申请号: | 201580065996.7 | 申请日: | 2015-11-27 |
公开(公告)号: | CN107004654A | 公开(公告)日: | 2017-08-01 |
发明(设计)人: | 福井彰 | 申请(专利权)人: | 株式会社半导体热研究所 |
主分类号: | H01L23/373 | 分类号: | H01L23/373;H01L23/12;H01L23/36 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)11277 | 代理人: | 刘新宇,李茂家 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明通过对由粗粒的Mo或粗粒的W、和Cu构成的CuMo或CuW的合金复合体进行致密化处理,然后进行横轧,从而制造在平行于表面的面内的任意方向上、在室温以上且800℃以下的线膨胀系数的最大值为10ppm/K以下、在温度200℃下的热导率为250W/m·K以上的散热基板。 | ||
搜索关键词: | 散热 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种散热基板的制造方法,其特征在于,制作将Mo或W的颗粒、和Cu作为主要成分的合金复合体,对所述合金复合体进行致密化,对所述致密化后的合金复合体进行横轧。
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