[发明专利]13族元素氮化物结晶层及功能元件有效
| 申请号： | 201580065227.7 | 申请日： | 2015-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN107002286B | 公开（公告）日： | 2019-06-21 |
| 发明（设计）人： | 岩井真;吉野隆史 | 申请（专利权）人： | 日本碍子株式会社 |
| 主分类号： | C30B29/38 | 分类号： | C30B29/38;C23C16/34;C30B19/10;C30B25/16 |
| 代理公司： | 北京旭知行专利代理事务所(普通合伙) 11432 | 代理人： | 王轶;郑雪娜 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 在结晶层3的与主面3a、3b垂直的截面处，存在载流子浓度为1×1018/cm3以上的高载流子浓度区域10和载流子浓度为9×1017/cm3以下的低载流子浓度区域9，低载流子浓度区域9为细长的形状，低载流子浓度区域9具有缔合部11，低载流子浓度区域9在一对主面3a、3b之间连续。 | ||
| 搜索关键词： | 载流子 浓度区域 主面 氮化物结晶 功能元件 垂直的 截面处 结晶层 族元素 缔合 | ||
【主权项】：
1.一种结晶层，其是包含13族元素氮化物并具有一对主面的结晶层，其特征在于，在所述结晶层的与所述主面垂直的截面处，存在载流子浓度为1×1018/cm3以上的高载流子浓度区域和载流子浓度为9×1017/cm3以下的低载流子浓度区域，所述低载流子浓度区域为细长的形状，所述低载流子浓度区域具有缔合部，且所述低载流子浓度区域在所述一对主面之间连续。
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