[发明专利]抗蚀图案处理用组合物以及使用其的图案形成方法在审
| 申请号： | 201580056139.0 | 申请日： | 2015-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN107077081A | 公开（公告）日： | 2017-08-18 |
| 发明（设计）人： | 山本和磨;长原达郎 | 申请（专利权）人： | AZ电子材料（卢森堡）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/40 | 分类号： | G03F7/40;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京三幸商标专利事务所(普通合伙)11216 | 代理人： | 刘淼 |
| 地址： | 卢森堡*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种可改良抗蚀图案的表面粗糙度的组合物与使用了该组合物的图案形成方法。一种组合物，其包含特定的含氮化合物、含有磺酸基的阴离子性表面活性剂以及水；一种图案形成方法，其包含将该组合物适用于显影后的干燥了的抗蚀图案的工序。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 处理 组合 以及 使用 形成 方法 | ||
【主权项】：
一种抗蚀图案处理用组合物，其特征在于，其包含：(A)在溶解于水时显示碱性并且沸点为48℃以上的含氮化合物；(B)具有磺酸基或者羧基的阴离子性表面活性剂；以及(C)水。
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