[发明专利]抗蚀图案处理用组合物以及使用其的图案形成方法

权利要求书

1.一种抗蚀图案处理用组合物，其特征在于，其包含：

(A)在溶解于水时显示碱性并且沸点为48℃以上的含氮化合物；

(B)具有磺酸基或者羧基的阴离子性表面活性剂；以及

(C)水。

2.根据权利要求1所述的抗蚀图案处理用组合物，其中，所述含氮化合物从下述通式(1)～(3)中选出：

式中，R¹、R²、以及R³分别独立地为氢、碳原子数1～10的饱和或者不饱和的烃链，此处，在构成所述烃链的碳原子上结合的氢也可被-OH、-F、＝O或者-NH₂取代，在所述烃链的途中，也可包含-(CO)-、-(COO)-、-(CONH)-、-O-、-NH-、或者-N＝，

也可将R¹、R²、以及R³之中的两个进行结合而形成环状结构，也可使R¹、R²、以及R³之中的一个的末端结合于碳原子数20,000以下的聚合物主链，

其中，R¹、R²、以及R³中所含的碳原子数的合计为3以上，

式中，R⁴、R⁵、R⁶、以及R⁷分别独立地为氢、碳原子数1～10的饱和或者不饱和的烃链，此处，在构成所述烃链的碳原子上结合的氢也可被-OH、-F、＝O或者-NH₂取代，在所述烃链的途中，也可包含-(CO)-、-(COO)-、-(CONH)-、-O-、-NH-、或者-N＝，

也可将R⁴、R⁵、R⁶、以及R⁷之中的两个进行结合而形成环状结构，

L为碳原子数1～10的烃链，以及

式中，R⁸、R⁹、R¹⁰、以及R¹¹分别独立地为氢、碳原子数1～10的饱和或者不饱和的烃链，此处，在构成所述烃链的碳原子上结合的氢也可被-OH、-F、＝O或者-NH₂取代，在所述烃链的途中，也可包含-(CO)-、-(COO)-、-(CONH)-、-O-、-NH-、或者-N＝，

也可将R⁸、R⁹、R¹⁰、以及R¹¹之中的两个进行结合而形成环状结构，

其中，R⁸、R⁹、R¹⁰、以及R¹¹的全部不同时为氢，L’是碳原子数1～10的烃链，

m是表示1～1000的重复数的数值。

3.根据权利要求1所述的抗蚀图案处理用组合物，其中，所述含氮化合物从由单烷基胺、二烷基胺、三烷基胺、烷醇胺、以及环状烷基胺组成的组中选出。

4.根据权利要求3所述的抗蚀图案处理用组合物，其中，

所述单烷基胺从由正丙胺、正丁胺、异丁胺、叔丁胺、正戊胺、异戊胺、2-甲基-正丁胺、2-甲基-异丁胺、2-甲基-叔丁胺、以及正己胺组成的组中选出，

所述二烷基胺从由二乙胺、二正丙胺、二异丙胺、甲基-正丙胺、二正丁胺、二异丁胺、二乙基甲基胺、二甲基-正丙胺、以及二甲基-异丙胺组成的组中选出，

所述三烷基胺从由三乙胺、三正丙胺、以及三异丙胺组成的组中选出，

所述烷醇胺从由单甲醇胺、单乙醇胺、单正丙胺、单异丙醇胺、二甲醇胺、二乙醇胺、二正丁基乙醇胺、二异丁基乙醇胺、二叔丁基乙醇胺、氨基乙基乙醇胺、甲基乙醇胺、甲基二乙醇胺、乙基乙醇胺、乙基二乙醇胺、正丁基乙醇胺、异丁基乙醇胺、叔丁基二乙醇胺、二乙基异丙醇胺、三甲醇胺、以及三乙醇胺组成的组中选出，且

所述环状烷基胺从由环戊胺、环己胺、环庚胺、以及环己基乙醇胺组成的组中选出。