[发明专利]散热部件及其制造方法有效
| 申请号： | 201580054388.6 | 申请日： | 2015-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN106796920B | 公开（公告）日： | 2019-09-24 |
| 发明（设计）人： | 后藤大助;宫川健志;石原庸介 | 申请（专利权）人： | 电化株式会社 |
| 主分类号： | H01L23/12 | 分类号： | H01L23/12;H01L23/14;H01L23/36 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供将电路基板接合后的翘曲的回复小、散热性优异的散热部件的制造方法和采用该制造方法制造的散热部件。本发明提供散热部件的制造方法，其为包括包含碳化硅和铝合金的复合化部、具有翘曲的平板状的散热部件的制造方法，其特征在于，用具有450℃以上的表面温度、具有曲率半径7000mm～30000mm的1对相对的球面的凹凸模夹持散热部件，以该散热部件的温度成为450℃以上的温度的方式用10KPa以上的应力模压30秒以上。 | ||
| 搜索关键词： | 散热 部件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.散热部件的制造方法，其为包括包含碳化硅和铝合金的复合化部、具有翘曲的平板状的散热部件的制造方法，其特征在于，用具有450℃以上的表面温度、具有曲率半径7000mm～30000mm的1对相对的球面的凹凸模夹持散热部件，以该散热部件的温度成为450℃以上的温度的方式用10KPa以上的应力加压30秒以上，对于所述散热部件，在将赋予翘曲前每10cm的翘曲量设为X，将赋予翘曲后每10cm的翘曲量设为(X+Y)，在320℃以下的温度下将赋予翘曲后的散热部件加热处理1小时以上后的每10cm的翘曲量设为(X+Z)时，所述散热部件的长度方向和宽度方向上的(Y‑Z)均为18μm以下。
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