[发明专利]散热部件及其制造方法

摘要

本发明提供了散热部件以及制造该散热部件的方法，该散热部件包括由复合材料构成的复合体部，并且能够将半导体元件以高接合性接合至该复合体部的表面上。提供的散热部件包括由复合材料构成的复合体部，在该复合材料中，金属基质包含良好的导热体的颗粒；以及形成在所述复合体部的至少一个表面上并且由金属构成的金属层。散热部件的制造方法包括：准备步骤，准备其中金属基质包含良好的导热体的颗粒的复合材料；粉末布置步骤，在所述复合材料的至少一个表面上设置由金属颗粒构成的金属粉末；以及加热步骤，在将金属粉末布置在复合材料上的情况下，通过对复合材料和金属粉末进行加热，以在由复合材料构成的复合体部上形成由金属粉末的金属构成的金属层。

主权项

1.一种散热部件，包括：由复合材料构成的复合体部，所述复合材料在金属基质中包含令人满意的导热材料的颗粒；以及金属层，其形成在所述复合体部的至少一个表面上并且由Ag或其合金构成，其中所述令人满意的导热材料是金刚石，所述金属基质由Ag或其合金构成，所述复合体部的导热率为120W/m·K以上，构成所述金属层的所述金属具有平均结晶粒径为30μm以下的晶粒；并且所述金属层的厚度为10μm以上500μm以下。