[发明专利]一种组合物及使用其的有机薄膜晶体管在审
| 申请号： | 201580011608.7 | 申请日： | 2015-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN106062935A | 公开（公告）日： | 2016-10-26 |
| 发明（设计）人： | 矢作公 | 申请（专利权）人： | 住友化学株式会社 |
| 主分类号： | H01L21/312 | 分类号： | H01L21/312;C08F20/56;H01L21/28;H01L21/336;H01L29/786;H01L51/05;H01L51/30 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 葛凡 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： |
本发明提供一种组合物，其含有：包含具有式(1)所示基团的重复单元的高分子化合物(A)；因电磁波或电子射线的照射、或者加热而分解产生酸的化合物(B)；和在酸的存在下与羟基反应的化合物(C)。 |
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| 搜索关键词： | 一种 组合 使用 有机 薄膜晶体管 | ||
【主权项】：
一种组合物，其含有：包含具有下述式(1)所示基团的重复单元的高分子化合物(A)；因电磁波或电子射线的照射、或者加热而分解产生酸的化合物(B)；和在酸的存在下与羟基反应的化合物(C)，![]()
式中，R表示在酸的作用下从氧原子脱离时的活化能为80kJ以下的1价有机基团，R’表示烷基或环烷基，这些基团也可具有取代基，存在的多个R’可以相同也可以不同，还可以相互键合而与它们所键合的碳原子一起形成环，n表示0以上的整数，R”表示亚烷基、亚环烷基或亚芳基，这些基团也可以具有取代基，在存在多个R”的情况下，它们可以相同也可以不同，R’和R”可以相互键合而与它们所键合的碳原子一起形成环。
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H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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