[发明专利]具有图案的膜、光学组件、电路板、或电子组件的生产方法有效
申请号: | 201580010744.4 | 申请日: | 2015-02-10 |
公开(公告)号: | CN106062010B | 公开(公告)日: | 2019-06-11 |
发明(设计)人: | 本间猛;伊藤俊树;米泽诗织;川崎阳司;饭村晶子 | 申请(专利权)人: | 佳能株式会社 |
主分类号: | C08F2/48 | 分类号: | C08F2/48;C08F20/10;H01L21/027 |
代理公司: | 北京魏启学律师事务所 11398 | 代理人: | 魏启学 |
地址: | 日本东京都大*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 在含有冷凝性气体的气态氛围下的压印方法中,光压印用固化性组合物难以固化,图案未完全形成而造成缺陷。本发明涉及一种在含有冷凝性气体的气态氛围下的光压印用固化性组合物。该光压印用固化性组合物至少包含下列组分(A)和组分(B):(A)聚合性化合物,和(B)光聚合引发剂。组分(B)具有小于1重量%的在5℃和1atm下在液态的冷凝性气体中的饱和溶解度,或具有大于7.6的对冷凝性气体的汉森距离(Ra)。 | ||
搜索关键词: | 压印 固化 组合 产物 以及 使用 具有 图案 光学 组件 电路板 电子 生产 方法 | ||
【主权项】:
1.一种具有图案的膜的生产方法,其特征在于,所述方法包括:将光压印用固化性组合物配置在基板上;在含有冷凝性气体的气态氛围下,将具有转印用模具图案的模具与所述光压印用固化性组合物接触;将所述固化性组合物用光照射以形成固化膜;和使所述模具与所述固化膜脱离,其中所述光压印用固化性组合物用于在含有冷凝性气体的气态氛围下进行光压印,其至少包含组分A和组分B:A:聚合性化合物;和B:光聚合引发剂,并且还包含有机硅表面活性剂或烃表面活性剂,所述组分B具有小于1重量%的在5℃和1atm下在液态的所述冷凝性气体中的饱和溶解度,或者具有大于7.6的对所述冷凝性气体的汉森距离Ra。
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