[发明专利]基于CRDS的产物采样装置、产物检测系统和产物检测方法在审

专利信息
申请号: 202011465394.X 申请日: 2020-12-14
公开(公告)号: CN112691627A 公开(公告)日: 2021-04-23
发明(设计)人: 吴钢;吴芳芳;朱珉;张潮海;马恒;谢声益 申请(专利权)人: 浙江华电器材检测研究所有限公司
主分类号: B01J19/08 分类号: B01J19/08;B01J19/00;B01J4/00;G01N21/31;G01N1/24;G01N1/38
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 杨威
地址: 310015 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 本申请公开了一种基于CRDS的产物采样装置、产物检测系统和产物检测方法,基于CRDS的产物采样装置包括等离子体催化反应器、气体隔离室、配气室、光腔连接室、驱动泵;其中,配气室的第一进口设置第二阀门,第二进口连接反应气体的气体流道的末端,反应气体的气体流道中依次设置第一阀门、等离子体催化反应器、气体隔离室;配气室的出口连接光腔连接室进口;驱动泵驱动气体从配气室向光腔连接室流动;光腔连接室通过两个相对分布的接口固定在直线型的光腔的中部。本申请提供的技术方案解决了等离子体催化气体产物采样过程中,等离子体催化反应器和光腔压力不稳定的问题,避免了催化剂进入光腔,优化了激光分析环境,延长了光腔的寿命。
搜索关键词: 基于 crds 产物 采样 装置 检测 系统 方法
【主权项】:
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