[发明专利]波长选择性热辐射材料及其制造方法

摘要

本发明的目的在于，提供一种形成有微腔室的波长选择性热辐射材料的制造方法，所述微腔室的划分微腔室的腔室壁上部的表面粗糙度受到抑制，或具有大于3.0的纵横比。本发明提供如下的波长选择性热辐射材料，是选择性地辐射对应于树脂构件的红外线透射波长区域的热辐射光的波长选择性热辐射材料，通过对基材实施各向异性蚀刻，就可以抑制划分微腔室的腔室壁上部的表面粗糙度，或具有纵横比大于3.0的微腔室，所述基材通过预先在一个面密合具有规定的开口的掩模，或者压靠具有与微腔室的位置对应地排列的突起的压模，而预先在一个面形成有凹部。

主权项

1.一种波长选择性热辐射材料，其特征在于，是利用以使热辐射光通过的方式配置，选择性地辐射与之后将要通过的树脂构件的红外线透射波长区域对应的热辐射光的波长选择性热辐射材料，所述波长选择性热辐射材料具有形成有具有矩形的开口的多个微腔室的热辐射面，所述多个微腔室被周期性重复并且以格子状二维排列，所述微腔室的开口比a/Λ为0.5～0.9的范围，并且纵横比d/a为3.3以上，并且划分所述微腔室的腔室壁上部的表面粗糙度Rz为1μm以下，其中，a为开口直径，Λ为开口的周期，d为开口的深度。