[实用新型]一种晶片移载机

摘要

本实用新型揭示了一种晶片移载机，包括机台，机台上设置有用于放置晶片托盘且可沿X轴方向移动地托盘架，托盘架沿Y轴方向的一侧设置有托盘推送机构，另一侧设置有晶片托盘输送线，晶片托盘输送线的前进方向上设置有定位点以及位于定位点旁的晶片放置盘，定位点及晶片放置盘上方设置有用于将晶片托盘中的晶片移载到所述晶片放置盘中的吸盘移载机构，所晶片托盘输送线的末端设置有晶片托盘回收机构。本实用新型通过设置大容量的托盘架，一次性可以放入较多的晶片托盘，并通过推送机构和晶片托盘输送线配合实现自动送料；移载后，通过晶片托盘回收机构，自动的实现了空晶片托盘的回收，大大提高了移载效率和设备的自动化程度。

主权项

一种晶片移载机，包括机台（1），其特征在于：所述机台（1）上设置有用于放置晶片托盘（2）且可沿X轴方向移动地托盘架（3），所述托盘架（3）沿Y轴方向的一侧设置有托盘推送机构，另一侧设置有晶片托盘输送线（4），所述晶片托盘输送线（4）的前进方向上设置有定位点以及位于所述定位点旁的晶片放置盘（5），所述定位点及晶片放置盘（5）上方设置有用于将晶片托盘（2）中的晶片移载到所述晶片放置盘（5）中的吸盘移载机构（6）；所述晶片托盘输送线（4）的末端设置有晶片托盘回收机构（7）。