[实用新型]一种化学气相沉积装置有效
| 申请号： | 201521042165.1 | 申请日： | 2015-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN205188435U | 公开（公告）日： | 2016-04-27 |
| 发明（设计）人： | 曹玉霞 | 申请（专利权）人： | 唐山学院 |
| 主分类号： | C23C16/44 | 分类号： | C23C16/44 |
| 代理公司： | 北京迎硕知识产权代理事务所(普通合伙) 11512 | 代理人： | 张群峰;吕良 |
| 地址： | 063000 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种化学气相沉积装置，包括加热炉，加热炉具有密闭的炉膛和设置在炉膛外周的加热体，炉膛中部设置有热电偶，炉膛具有气体入口和气体出口；还包括并联的载气流路和稀释气流路，二者都与炉膛的气体入口连接；载气流路中设置有汽化器，液相原料在汽化器中汽化后由载气携带进入加热炉中进行气相沉积。根据本实用新型的化学气相沉积装置，能够采用液相前驱体作为原料来进行气相沉积薄膜或涂层；结构简单，操作方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化学 沉积 装置 | ||
【主权项】：
一种化学气相沉积装置，包括加热炉，加热炉具有密闭的炉膛和设置在炉膛外周的加热体，炉膛中部设置有热电偶，炉膛具有气体入口和气体出口；其特征在于，还包括并联的载气流路和稀释气流路，二者都与炉膛的气体入口连接；载气流路中设置有汽化器，液相原料在汽化器中汽化后由载气携带进入加热炉中进行气相沉积。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于唐山学院，未经唐山学院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201521042165.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：热镀锌钢丝酸洗槽酸雾水封管
- 下一篇：镀膜机载盘
- 同类专利
- 专利分类
C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
