[实用新型]一种便于芯片抽检机维护的盖板装置有效
| 申请号： | 201520666276.3 | 申请日： | 2015-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN204857683U | 公开（公告）日： | 2015-12-09 |
| 发明（设计）人： | 邓海涛;段之刚;王利华;李真高 | 申请（专利权）人： | 成都先进功率半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 四川力久律师事务所 51221 | 代理人： | 王芸;熊晓果 |
| 地址： | 611731 四川省成都市高*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种芯片生产装置，具体涉及一种便于芯片抽检机维护的盖板装置，包括与抽检机配合的盖板，所述盖板包括与抽检机固定连接的固定盖板和与固定盖板铰接的转动盖板，所述转动盖板与抽检机内芯片框架运行的轨道相对应，所述转动盖板上设置有便于观察芯片框架运行状况的透明窗。本盖板装置通过将盖板设置为固定盖板和与固定盖板铰接的转动盖板且在转动盖板上设置透明窗，芯片框架在抽检机内的运行过程成为可视化操作，便于操作人员直观了解设备内的运行状况；当抽检机内的芯片框架出现问题时，可轻松将转动盖板揭开，进行相关的维护工作，提高作业效率；转动盖板回盖操作简单快捷，减少产品的报废成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 便于 芯片 抽检 维护 盖板 装置 | ||
【主权项】：
一种便于芯片抽检机维护的盖板装置，包括与抽检机配合的盖板，其特征在于，所述盖板包括与抽检机固定连接的固定盖板和与固定盖板铰接的转动盖板，所述转动盖板与抽检机内芯片框架运行的轨道相对应，所述转动盖板上设置有便于观察芯片框架运行状况的透明窗。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
