[实用新型]一种便于芯片抽检机维护的盖板装置有效
申请号: | 201520666276.3 | 申请日: | 2015-08-31 |
公开(公告)号: | CN204857683U | 公开(公告)日: | 2015-12-09 |
发明(设计)人: | 邓海涛;段之刚;王利华;李真高 | 申请(专利权)人: | 成都先进功率半导体股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 四川力久律师事务所 51221 | 代理人: | 王芸;熊晓果 |
地址: | 611731 四川省成都市高*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 便于 芯片 抽检 维护 盖板 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种芯片生产装置,特别是一种便于芯片抽检机维护的盖板装置。
背景技术
在芯片的生产过程中,为了保证芯片的质量,必须要进行相应的检验,目前常采用抽检的方式进行芯片框架的检测,进而发展出了芯片抽检机;在芯片抽检机的抽检盖板上设置有一个透明小孔,在盖板上方用显微镜通过透明小孔对芯片框架在抽检机里的运行状况进行观察,当出现芯片框架卡料等状况时,进行相应的维护工作,但这样的抽检机盖板存在以下缺点:
1.操作人员无法直观地从盖板上的透明小孔观察芯片框架在轨道中的运行状态,不能预先判断可能会出现的卡料故障,一旦卡料就会造成极大的损失;
2.抽检机盖板为整板结构覆盖在抽检机上,整板结构一般为塑料材质板,为非透明色,因此,设备出现卡料等故障需要维修时必须拆除整块盖板,才能看到内部结构,十分费时费力,这常使得操作人员拆开盖板后不愿意将盖板再安装回设备,而这样的设置又会使芯片框架运行时缺少上部阻挡物,由于在对产品侧面进行检查时需要转动显微镜侧光镜,而侧光镜头距离产品非常近,轨道没有盖板防护的情况下操作人员的衣袖口容易刮到产品,增加芯片上已焊好的铜线在转动显微镜头过程中受到静电服袖口刮擦而报废的几率。
实用新型内容
本实用新型的目的在于:针对现有技术芯片抽检机盖板上只设置有一个透明小孔进行观察芯片框架运行状况,操作人员无法直观运行状态,不能预先判断可能会出现的卡料故障;设备出现卡料等故障需要维修时必须拆除整块盖板,操作人员拆开盖板后不愿意将盖板再安装回设备,增加了芯片框架在转动显微镜头过程中受损报废的几率的问题,提供一种便于芯片抽检机维护的盖板装置,该盖板装置便于拆卸,并能观察到芯片框架在抽检机内的运行状况,减少芯片卡料和损坏的几率。
为了实现上述目的,本实用新型采用的技术方案为:
一种便于芯片抽检机维护的盖板装置,包括与抽检机配合的盖板,所述盖板包括与抽检机固定连接的固定盖板和与固定盖板铰接的转动盖板,所述转动盖板与抽检机内芯片框架运行的轨道相对应,所述转动盖板上设置有便于观察芯片框架运行状况的透明窗。
本盖板装置通过将芯片抽检机的盖板设置为与抽检机固定连接的固定盖板和与固定盖板铰接的转动盖板两部分,且在转动盖板上设置便于观察芯片框架运行状况的透明窗,芯片框架在抽检机内的运行过程成为可视化操作,便于操作人员直观了解设备内的运行状况;当抽检机内的芯片框架出现问题时,可轻松将转动盖板揭开,进行相关的维护工作,提高作业效率;维修完成后,将转动盖板转回来盖上即可,操作简单快捷,消除作业人员因盖板的拆卸和安装过程复杂而不上盖板的抵触情绪,减少产品的报废成本。
作为本实用新型的优选方案,所述盖板上还设置有维护空腔,所述维护空腔与检测板的位置相对应,使操作者可观察到抽检机内芯片连续运行的状况。通过盖板上设置的维护空腔,操作者可提前发现抽检机内芯片框架运行轨道上的安全隐患,预判可能发生的故障,并通过维护空腔直接处理抽检机故障,无需打开盖板的情况下及时处理安全隐患,提高工作效率。
作为本实用新型的优选方案,所述维护空腔为沿盖板边缘向中部凹入的槽。将维护空腔设置在盖板的边缘,减少维护空腔的一段边框,使得设备维护起来更为方便。
作为本实用新型的优选方案,所述固定盖板与转动盖板通过铰链连接。
作为本实用新型的优选方案,所述转动盖板上设有便于将其固定在抽检机上的扣合部件。该扣合部件为常用的锁扣结构、磁性体、卡接结构等。
综上所述,由于采用了上述技术方案,本实用新型的有益效果是:
1、本盖板装置通过将芯片抽检机的盖板设置为与抽检机固定连接的固定盖板和与固定盖板铰接的转动盖板两部分,且在转动盖板上设置便于观察芯片框架运行状况的透明窗,芯片框架在抽检机内的运行过程成为可视化操作,便于操作人员直观了解设备内的运行状况;当抽检机内的芯片框架出现问题时,可轻松将转动盖板揭开,进行相关的维护工作,提高作业效率;维修完成后,将转动盖板转回来盖上即可,操作简单快捷,消除作业人员因盖板的拆卸和安装过程复杂而不上盖板的抵触情绪,减少产品的报废成本。
2、通过盖板上设置的维护空腔,操作者可提前发现抽检机内芯片框架运行轨道上的安全隐患,预判可能发生的故障,并通过维护空腔直接处理抽检机故障,无需打开盖板的情况下及时处理安全隐患,提高工作效率。
附图说明
图1是本实用新型便于芯片抽检机维护的盖板装置的结构示意图。
图2为图1中透明窗的结构示意图。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造