[实用新型]具有绝缘组件的多晶硅还原炉有效
申请号: | 201520343938.3 | 申请日: | 2015-05-25 |
公开(公告)号: | CN204675839U | 公开(公告)日: | 2015-09-30 |
发明(设计)人: | 石何武;严大洲;肖荣晖;汤传斌;毋克力;杨永亮;郑红梅 | 申请(专利权)人: | 中国恩菲工程技术有限公司 |
主分类号: | C01B33/035 | 分类号: | C01B33/035 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 赵囡囡;吴贵明 |
地址: | 100038*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种具有绝缘组件的多晶硅还原炉,绝缘组件包括绝缘防护装置和绝缘隔热结构,多晶硅还原炉具有电极安装孔,电极安装孔内穿设有电极,电极安装孔的孔壁与电极之间具有间隙,间隙内设置有绝缘防护装置,绝缘防护装置包括第一绝缘护套和位于第一绝缘护套上方的第二绝缘护套,绝缘隔热结构套设在电极外周,第二绝缘护套为无机材料制成,绝缘隔热结构包括套筒,套筒的至少一部分位于第二绝缘护套的内壁和电极之间的间隙内。根据本实用新型的具有绝缘组件的多晶硅还原炉,可以提高多晶硅还原炉的运行稳定性和生产效率。 | ||
搜索关键词: | 具有 绝缘 组件 多晶 还原 | ||
【主权项】:
一种具有绝缘组件的多晶硅还原炉,所述绝缘组件包括绝缘防护装置(3)和绝缘隔热结构(4),所述多晶硅还原炉具有电极安装孔(1),所述电极安装孔(1)内穿设有电极(2),所述电极安装孔(1)的孔壁与所述电极(2)之间具有间隙,所述间隙内设置有所述绝缘防护装置(3),所述绝缘防护装置(3)包括第一绝缘护套(31)和位于所述第一绝缘护套(31)上方的第二绝缘护套(32),所述绝缘隔热结构(4)套设在所述电极(2)外周,其特征在于,所述第二绝缘护套(32)为无机材料制成,所述绝缘隔热结构(4)包括套筒(41),所述套筒(41)的至少一部分位于所述第二绝缘护套(32)的内壁和所述电极(2)之间的间隙内。
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