[实用新型]具有绝缘组件的多晶硅还原炉

权利要求书

1.一种具有绝缘组件的多晶硅还原炉，所述绝缘组件包括绝缘防护装置(3)和绝缘隔热结构(4)，所述多晶硅还原炉具有电极安装孔(1)，所述电极安装孔(1)内穿设有电极(2)，所述电极安装孔(1)的孔壁与所述电极(2)之间具有间隙，所述间隙内设置有所述绝缘防护装置(3)，所述绝缘防护装置(3)包括第一绝缘护套(31)和位于所述第一绝缘护套(31)上方的第二绝缘护套(32)，所述绝缘隔热结构(4)套设在所述电极(2)外周，其特征在于，所述第二绝缘护套(32)为无机材料制成，所述绝缘隔热结构(4)包括套筒(41)，所述套筒(41)的至少一部分位于所述第二绝缘护套(32)的内壁和所述电极(2)之间的间隙内。

2.根据权利要求1所述的具有绝缘组件的多晶硅还原炉，其特征在于，所述第二绝缘护套(32)由陶瓷或者氮化硅制成。

3.根据权利要求1所述的具有绝缘组件的多晶硅还原炉，其特征在于，所述绝缘隔热结构(4)还包括：

支撑部(42)，具有直孔段和扩径段，所述扩径段的远离所述直孔段的端面与所述电极安装孔(1)的上端面抵接，所述套筒(41)的至少部分位于所述直孔段的孔壁和所述电极(2)之间的间隙内。

4.根据权利要求3所述的具有绝缘组件的多晶硅还原炉，其特征在于，所述套筒(41)和/或所述支撑部(42)由陶瓷材料制成。

5.根据权利要求3所述的具有绝缘组件的多晶硅还原炉，其特征在于，所述支撑部(42)的外周具有多个凹槽(421)，所述多个凹槽(421)沿所述支撑部(42)的轴向间隔设置。

6.根据权利要求3所述的具有绝缘组件的多晶硅还原炉，其特征在于，所述支撑部(42)还包括设置在所述直孔段和所述扩径段外周之间的圆弧过渡段。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的具有绝缘组件的多晶硅还原炉，其特征在于，所述电极(2)的外表面具有轴向定位凸台(21)，所述轴向定位凸台(21)位于所述第一绝缘护套(31)和所述第二绝缘护套(32)之间。

8.根据权利要求1至6中任一项所述的具有绝缘组件的多晶硅还原炉，其特征在于，所述第一绝缘护套(31)包括第一管段(311)和第二管段(312)，所述第二管段(312)的内径小于所述第一管段(311)的内径，所述第一管段(311)位于所述第二绝缘护套(32)的外周和所述电极安装孔(1)的孔壁之间，所述第二管段(312)位于所述电极(2)的外周与所述电极安装孔(1)的孔壁之间。

9.根据权利要求8所述的具有绝缘组件的多晶硅还原炉，其特征在于，所述第一绝缘护套(31)的内部通孔为阶梯孔。

10.根据权利要求1至6中任一项所述的具有绝缘组件的多晶硅还原炉，其特征在于，所述第二绝缘护套(32)包括第三管段和第四管段，所述第四管段的内径小于所述第三管段的内径，所述第三管段套设在所述套筒(41)的外周与所述电极安装孔(1)的孔壁之间，所述第四管段套设在所述电极(2)的外周与所述电极安装孔(1)的孔壁之间。