[实用新型]具有绝缘组件的多晶硅还原炉

说明书

技术领域

本实用新型涉及多晶硅生产领域，具体而言，涉及一种具有绝缘组件的多晶硅还原炉。

背景技术

多晶硅主要应用在太阳能光伏行业，近年来随着光伏行业的不断扩张，原料多晶硅也在迅猛的增长，然而生产多晶硅的方法中占主导地位的仍然是改良西门子法，市场占有率达到85％以上。

在改良西门子法生产多晶硅的过程中，多晶硅的沉积设备多晶硅还原炉及相关配件是生产多晶硅的关键，这些配件主要包括多晶硅还原炉用电极、绝缘组件、喷嘴、石墨组件等，只有装备技术精良、各配套附件结构合理才能低能耗的生产出多晶硅。

图1示出了现有技术的多晶硅还原炉的部分剖视结构示意图，如图1所示，现有技术的多晶硅还原炉具有电极安装孔，电极安装孔内穿设有电极2’，电极安装孔的孔壁与电极2’之间具有间隙，间隙内设置有绝缘防护装置3’，绝缘防护装置3’包括第一绝缘护套和位于第一绝缘护套上方的第二绝缘护套32’，其中，第二绝缘护套32’为聚四氟乙烯制成，在多晶硅还原炉运行的过程中，受高温影响第二绝缘护套32’易碳化变形粘结在电极安装孔内壁上，当这些被碳化的绝缘防护装置不能起到绝缘作用时，多晶硅还原炉就会出现电器故障，从而影响多晶硅还原炉的运行稳定性。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种具有绝缘组件的多晶硅还原炉，以解决现有多晶硅生产技术中的多晶硅还原炉运行稳定性较差的问题。

为了实现上述目的，根据本实用新型的一个方面，提供了一种具有绝缘组件的多晶硅还原炉，绝缘组件包括绝缘防护装置和绝缘隔热结构，多晶硅还原炉具有电极安装孔，电极安装孔内穿设有电极，电极安装孔的孔壁与电极之间具有间隙，间隙内设置有绝缘防护装置，绝缘防护装置包括第一绝缘护套和位于第一绝缘护套上方的第二绝缘护套，绝缘隔热结构套设在电极外周，第二绝缘护套为无机材料制成，绝缘隔热结构包括套筒，套筒的至少一部分位于第二绝缘护套的内壁和电极之间的间隙内。

进一步地，第二绝缘护套由陶瓷或者氮化硅制成。

进一步地，绝缘隔热结构还包括：支撑部，具有直孔段和扩径段，扩径段的远离直孔段的端面与电极安装孔的上端面抵接，套筒的至少部分位于直孔段的孔壁和电极之间的间隙内。

进一步地，套筒和/或支撑部由陶瓷材料制成。

进一步地，支撑部的外周具有多个凹槽，多个凹槽沿支撑部的轴向间隔设置。

进一步地，支撑部还包括设置在直孔段和扩径段外周之间的圆弧过渡段。

进一步地，电极的外表面具有轴向定位凸台，轴向定位凸台位于第一绝缘护套和第二绝缘护套之间。

进一步地，第一绝缘护套包括第一管段和第二管段，第二管段的内径小于第一管段的内径，第一管段位于第二绝缘护套的外周和电极安装孔的孔壁之间，第二管段位于电极的外周与电极安装孔的孔壁之间。

进一步地，第一绝缘护套的内部通孔为阶梯孔。

进一步地，第二绝缘护套包括第三管段和第四管段，第四管段的内径小于第三管段的内径，第三管段套设在套筒的外周与电极安装孔的孔壁之间，第四管段套设在电极的外周与电极安装孔的孔壁之间。

应用本实用新型的技术方案，由于第二绝缘护套为无机材料制成，套筒可以将来自多晶硅还原炉内的热量反射回到多晶硅还原炉内，这样在多晶硅还原炉运行的过程中，受高温影响时可以避免因碳化而造成的第二绝缘护套粘接在电极安装孔内壁上，从而提高多晶硅还原炉的运行稳定性和生产效率；另一方面，可以起到电极和电极安装孔之间的绝缘作用。

附图说明

构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1示出了现有技术的多晶硅还原炉的实施例的部分剖视结构示意图；以及

图2示出了根据本实用新型的具有绝缘组件的多晶硅还原炉的实施例的部分剖视结构示意图。

其中，上述附图包括以下附图标记：

1、电极安装孔；2、电极；21、轴向定位凸台；3、绝缘防护装置；31、第一绝缘护套；311、第一管段；312、第二管段；32、第二绝缘护套；4、绝缘隔热结构；41、套筒；42、支撑部；421、凹槽。

具体实施方式

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。