[发明专利]无间距三角锥图形化蓝宝石的制备方法在审
| 申请号： | 201510990029.3 | 申请日： | 2015-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN105552177A | 公开（公告）日： | 2016-05-04 |
| 发明（设计）人： | 申健;张丹;甘阳 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人： | 侯静 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 无间距三角锥图形化蓝宝石的制备方法，它涉及一种蓝宝石的制备方法。本发明是为了解决干法刻蚀在蓝宝石表面难以制作超高占位比三角锥的问题。本方法如下：将预处理后的圆锥形图形化蓝宝石片置于石英花篮中，将石英烧杯中混合溶液A高温湿法刻蚀，然后用去离子水冲洗圆锥形图形化蓝宝石片，再氮气吹干，即得超高占位比三角锥图形化蓝宝石。本发明的超高占位比三角锥图形化蓝宝石的制备方法能有效地将圆锥形图形化蓝宝石转化为超高占位比三角锥图形化蓝宝石，且生成的超高占位比三角锥图形化蓝宝石规则有序，重复性好。采用的设备简单，操作方便，易于掌握，过程安全、无污染。本发明属于蓝宝石的制备领域。 | ||
| 搜索关键词： | 间距 三角 图形 蓝宝石 制备 方法 | ||
【主权项】：
无间距三角锥图形化蓝宝石的制备方法，其特征在于无间距三角锥图形化蓝宝石的制备方法是通过以下步骤实现的：一、预处理：在室温下，将圆锥形图形化蓝宝石片置于乙醇中浸泡3～18h，然后用去离子水冲洗圆锥形图形化蓝宝石片，再氮气吹干；二、将经步骤一处理后的圆锥形图形化蓝宝石片置于石英花篮中，将石英烧杯中混合溶液A升温至201～280℃，其中混合溶液A为磷酸和硫酸的混合液，磷酸与硫酸的体积比为1∶(2.8～4.8)，将载有圆锥形图形化蓝宝石片的石英花篮放入石英烧杯中，刻蚀3～225min；三、将经步骤二处理后的圆锥形图形化蓝宝石片从石英烧杯中取出，然后用去离子水冲洗，再氮气吹干，即得无间距三角锥图形化蓝宝石。
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