[发明专利]一种利用相分离技术制备纳米图案化蓝宝石衬底的方法在审
| 申请号： | 201510932217.0 | 申请日： | 2015-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN105355745A | 公开（公告）日： | 2016-02-24 |
| 发明（设计）人： | 葛海雄;郭旭;袁长胜;崔玉双;陈延峰 | 申请（专利权）人： | 南京大学 |
| 主分类号： | H01L33/22 | 分类号： | H01L33/22;H01L21/02;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人： | 李媛媛 |
| 地址： | 210093 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种利用相分离技术制备纳米图案化蓝宝石衬底的方法。具体步骤包括：a)将一定质量比的聚苯乙烯和聚乙二醇溶解于甲苯中，得到聚苯乙烯/聚乙二醇/甲苯的共混溶液；b)将共混溶液旋涂于蓝宝石衬底上，在去离子水中浸泡并用氮气吹干；c)将上述样品放入反应离子刻蚀中进行刻蚀，去除聚苯乙烯残余层；d)利用电子束蒸发镀膜在上述样品上沉积金属镍，然后在氯苯中进行举离得到金属Ni的纳米阵列结构；e)以金属Ni为刻蚀掩模，在感应耦合等离子刻蚀设备中刻蚀蓝宝石衬底，多余的Ni掩模以稀硝酸洗去，最终得到纳米图案化蓝宝石衬底。本发明的方法方便快捷且成本低廉，能够进行晶圆尺度大面积、批量的制备纳米图案。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 利用 分离 技术 制备 纳米 图案 蓝宝石 衬底 方法 | ||
【主权项】：
一种利用相分离技术制备纳米图案化蓝宝石衬底的方法，其特征在于，具体步骤如下：(a)将一定质量比的聚苯乙烯和聚乙二醇溶解于甲苯中，得到质量分数为3％～6％的聚苯乙烯/聚乙二醇/甲苯的共混溶液A；(b)将共混溶液A以一定转速旋涂于蓝宝石衬底上，在去离子水中浸泡5秒，然后用N2吹干得到样品B；(c)将上述样品B放入反应离子刻蚀中进行刻蚀，去除聚苯乙烯残余层，得到样品C；(d)利用电子束蒸发镀膜在上述样品C上沉积50nm厚度的金属镍，然后在氯苯中进行举离，时间为1‑10分钟，得到金属Ni的纳米阵列结构；(e)以金属Ni的纳米阵列结构为刻蚀掩模，在感应耦合等离子刻蚀设备中刻蚀蓝宝石衬底，刻蚀深度为50nm‑400nm，多余的Ni掩模以稀硝酸洗去，得到纳米图案化蓝宝石衬底。
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