[发明专利]一种利用相分离技术制备纳米图案化蓝宝石衬底的方法

权利要求书

1.一种利用相分离技术制备纳米图案化蓝宝石衬底的方法，其特征在于，具体步骤如下：

(a)将一定质量比的聚苯乙烯和聚乙二醇溶解于甲苯中，得到质量分数为3％～6％的聚苯乙烯/聚乙二醇/甲苯的共混溶液A；

(b)将共混溶液A以一定转速旋涂于蓝宝石衬底上，在去离子水中浸泡5秒，然后用N₂吹干得到样品B；

(c)将上述样品B放入反应离子刻蚀中进行刻蚀，去除聚苯乙烯残余层，得到样品C；

(d)利用电子束蒸发镀膜在上述样品C上沉积50nm厚度的金属镍，然后在氯苯中进行举离，时间为1-10分钟，得到金属Ni的纳米阵列结构；

(e)以金属Ni的纳米阵列结构为刻蚀掩模，在感应耦合等离子刻蚀设备中刻蚀蓝宝石衬底，刻蚀深度为50nm-400nm，多余的Ni掩模以稀硝酸洗去，得到纳米图案化蓝宝石衬底。

2.如权利要求1所述的一种利用相分离技术制备纳米图案化蓝宝石衬底的方法，其特征在于，所述步骤(a)中，聚苯乙烯和聚乙二醇的质量比为2:1～5。

3.如权利要求1所述的一种利用相分离技术制备纳米图案化蓝宝石衬底的方法，其特征在于，所述步骤(b)中，转速为2000-8000转/分钟。

4.如权利要求1所述的一种利用相分离技术制备纳米图案化蓝宝石衬底的方法，其特征在于，所述步骤(d)中，金属Ni的纳米阵列结构为无序结构，其直径分布于100nm至700nm之间。

5.如权利要求1所述的一种利用相分离技术制备纳米图案化蓝宝石衬底的方法，其特征在于，所述步骤(e)中，得到的纳米图案化蓝宝石衬底的表面结构为圆锥状或圆台状。