[发明专利]一种P型合金制备工艺在审
| 申请号： | 201510904708.4 | 申请日： | 2015-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN105483829A | 公开（公告）日： | 2016-04-13 |
| 发明（设计）人： | 孙毅;王林;王淼;陈建梅;岳彩广;李豹;宋都明 | 申请（专利权）人： | 天津市环欧半导体材料技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/52 | 分类号： | C30B29/52;C30B11/00 |
| 代理公司： | 天津中环专利商标代理有限公司 12105 | 代理人： | 王凤英 |
| 地址： | 300384 天津市西青*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种P型合金制备工艺。其步骤：先将电子级原料装在石英埚内，再添加少量硼粉；控制炉压小于15mtorr，抽真空；将功率升至70kw，原料充分溶解；将功率下降至45kw，持续30分钟；将石英埚位上升至0埚位；氩气流量为60slpm，炉压为17torr；开启石英锅埚转，将石英锅内的硼元素搅拌均匀；将功率匀速降至0kw；停火焖至4小时；拆炉时取出焖埚料，用腐蚀液对取出的焖埚料表面进行腐蚀，腐蚀后的焖埚料即为制备出的P型合金。本工艺制备周期较短，两天即可完成，而常规合金的制备周期需要至少一周时间。采用本工艺制备的合金头部电阻率偏差较小，与控制目标偏差仅为2%。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 合金 制备 工艺 | ||
【主权项】：
一种P型合金制备工艺，其特征在于，该工艺有以下步骤：（1）.先将电子级原料装在石英埚内，再向石英埚内添加少量硼粉；（2）.控制炉压小于15mtorr，抽真空；（3）.将功率匀速升至70kw，将原料充分溶解；（4）.将功率下降至45kw ，持续30分钟；（5）.将石英埚位上升至0埚位；（6）.充氩气并控制炉内氩气流量为60slpm，炉压为17torr；（7）.化料结束后，开启石英锅埚转，将石英锅原料内的硼元素搅拌均匀；（8）.将功率匀速降至0kw；停火焖至4小时；（9）.拆炉时取出焖埚料，用腐蚀液对取出的焖埚料表面进行腐蚀，腐蚀后的焖埚料即为制备出的P型合金。
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