[发明专利]下电极组件及半导体加工设备

摘要

本发明提供一种下电极组件及半导体加工设备，其包括由上而下依次设置的下电极板、绝缘介质层和金属基座，其中，在绝缘介质层中设置有沿其厚度方向贯穿的绝缘塞，该绝缘塞具有气体通道，该气体通道的出气端和进气端分别位于绝缘塞的上端面和下端面，通过向气体通道内通入热交换气体，而实现对下电极板的温度控制，并且气体通道为非线性通道。本发明提供的下电极组件，其不仅可以在相同气压的条件下，延长输送热交换气体的长度，而且还可以避免非线性通道内的热交换气体的流动方向与电场方向一致，从而可以降低热交换气体发生打火的风险。

主权项

1.一种下电极组件，包括由上而下依次设置的下电极板、绝缘介质层和金属基座，其中，在所述绝缘介质层中设置有沿其厚度方向贯穿的绝缘塞，所述绝缘塞具有气体通道，所述气体通道的出气端和进气端分别位于所述绝缘塞的上端面和下端面，通过向所述气体通道内通入热交换气体，而实现对所述下电极板的温度控制，其特征在于，所述气体通道为非线性通道；所述非线性通道包括一条或多条螺旋通路，所述螺旋通路采用立体螺旋结构；其中，所述螺旋通路在其轴向上的截面形状为矩形，通过设定所述螺旋通路的螺距、内径、外径和匝数，来控制所述螺旋通路的长度和在其轴向上的截面面积；或者，所述螺旋通路在其轴向上的横截形状为三角形，通过设定所述螺旋通路的螺距、内径、外径、张角和匝数，来控制所述螺旋通路的长度和在垂直于所述热交换气体的流动方向上的截面面积。