[发明专利]具有减反射微纳结构的碳基纳米颗粒薄膜及制备方法有效
申请号: | 201510566230.9 | 申请日: | 2015-09-08 |
公开(公告)号: | CN105177522B | 公开(公告)日: | 2018-04-17 |
发明(设计)人: | 张旺;田军龙;汪万林;蔡年进;潘峰;刘庆雷;张荻 | 申请(专利权)人: | 上海交通大学 |
主分类号: | C23C16/06 | 分类号: | C23C16/06;C23C16/22;C23C16/56 |
代理公司: | 上海汉声知识产权代理有限公司31236 | 代理人: | 封喜彦,胡晶 |
地址: | 200240 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种具有减反射微纳结构的复合固溶半导体耦合的碳基纳米颗粒薄膜及其制备方法,该方法包括蝶翅的选择和前处理、活化处理,并在蝶翅上化学沉积金属/半导体耦合的纳米颗粒,真空碳化蝶翅等步骤。本发明制备具有减反射微纳结构的复合固溶半导体耦合的碳基纳米颗粒薄膜的方法通过利用蝴蝶翅膀来制作复合固溶半导体纳米颗粒薄膜,制作过程简单、安全、稳定、成本低、耗能低,所制备的纳米颗粒薄膜实现了宏观大尺度化,且具有蝶翅的减反射微观结构。这种薄膜在红外光谱波段具有高吸收减反射性能,并且具有优异的红外光热转换性能,及光电效应,从而实现了红外热辅助红外探测,可将其应用其红外光电,红外探测。 | ||
搜索关键词: | 具有 反射 结构 纳米 颗粒 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种具有减反射微纳结构的复合固溶半导体耦合的碳基纳米颗粒薄膜的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)选择一具有减反射微纳结构的黑色吸光蝶翅;(2)在所述蝶翅上化学沉积金属/半导体耦合的纳米颗粒;(3)将化学沉积了所述金属/半导体耦合的纳米颗粒的蝶翅进行碳化处理,使甲壳素基蝶翅模板转换为不定型碳基模板,沉积在模板上的金属/半导耦合的纳米材料转变为复合固溶半导体纳米颗粒,碳化后的蝶翅与附着于其上的所述复合固溶半导体纳米颗粒组成减反射微纳结构的复合固溶半导体耦合的碳基纳米颗粒薄膜;其中,所述碳化处理为:对所述蝶翅进行抽真空碳化,碳化温度为400~700℃,升温速率为1~5℃/min,保温时间1~3h。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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