[发明专利]正型感光性树脂组合物及其应用有效

专利信息
申请号: 201510555622.5 申请日: 2015-09-02
公开(公告)号: CN105425545B 公开(公告)日: 2019-11-08
发明(设计)人: 刘骐铭;施俊安 申请(专利权)人: 奇美实业股份有限公司
主分类号: G03F7/039 分类号: G03F7/039;G03F7/004;G03F7/00;G02F1/1368
代理公司: 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 代理人: 徐金国
地址: 中国台湾台南*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 发明是有关一种正型感光性树脂组合物及其应用。该正型感光性树脂组合物包含酚醛清漆树脂(A)、邻萘醌二叠氮磺酸类的酯化物(B)、具有羟基苯基的含氮化合物及/或具有羟基的氮杂环化合物(C)及溶剂(D)。藉由调整酚醛清漆树脂(A)与具有羟基苯基的含氮化合物及/或具有羟基的氮杂环化合物(C)的成份或使用量,所得的正型感光性树脂组合物可具有较宽裕的显影操作时间。
搜索关键词: 感光性 树脂 组合 及其 应用
【主权项】:
1.一种正型感光性树脂组合物,包含:酚醛清漆树脂(A);邻萘醌二叠氮磺酸类的酯化物(B);具有羟基苯基的含氮化合物及/或具有羟基的氮杂环化合物(C);溶剂(D);以及具有如下式(I)所示的结构的化合物(E):于式(I)中,R1及R2分别独立地代表氢原子、碳数为1至20的烷基、具有苯环取代碳数为1至20的烷基、具有酯基取代碳数为1至20的烷基或具有醚基取代碳数为1至20的烷基,且R3代表氢原子或氯原子,且其中所述酚醛清漆树脂(A)包含18%至25%的亚甲基键结于邻位‑邻位上的高邻位酚醛清漆树脂(A‑1),且基于所述酚醛清漆树脂(A)的使用量为100重量份,所述具有羟基苯基的含氮化合物及/或具有羟基的氮杂环化合物(C)的使用量为1重量份至8重量份,但不包含1重量份,且所述具有如式(I)所示的结构的化合物(E)的使用量为0.01重量份至10重量份。
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