[发明专利]正型感光性树脂组合物及其应用

说明书

本发明是有关一种正型感光性树脂组合物及其应用。该正型感光性树脂组合物包含酚醛清漆树脂(A)、邻萘醌二叠氮磺酸类的酯化物(B)、具有羟基苯基的含氮化合物及/或具有羟基的氮杂环化合物(C)及溶剂(D)。藉由调整酚醛清漆树脂(A)与具有羟基苯基的含氮化合物及/或具有羟基的氮杂环化合物(C)的成份或使用量，所得的正型感光性树脂组合物可具有较宽裕的显影操作时间。

技术领域

本发明是有关一种正型感光性树脂组合物及其应用，特别是提供一种使用在半导体积体电路元件或薄膜晶体管的液晶显示元件或触控面板的制程中，且具有较宽裕的显影操作时间的正型感光性树脂组合物。

背景技术

近年来，由于半导体及液晶显示器产业蓬勃发展，个人电脑及显示器的需求扩大，技术亦突飞猛进。为了改进半导体及液晶显示器的效能，图案的精细度须进一步提升，故感光性树脂组合物的解析度的要求日益提高。

为了满足前述感光性树脂组合物的解析度的要求，日本特开第2009-192571号公报揭示一种正型感光性树脂组合物。该正型感光性树脂组合物包含高邻位酚醛清漆树脂(high-ortho novolac resin)的感光剂，而可提高正型感光性树脂组合物的碱溶解速率。

其次，日本特开第2010-176012号公报亦揭示一种正型感光性树脂组合物。该正型感光性树脂组合物包含碱可溶性酚醛清漆树脂、感光剂及苯并三唑化合物。所制得的正型感光性树脂组合物具有较佳的密着性。

然而，前述的正型感光性树脂组合物仍具有显影操作时间紧迫的缺陷，而使得显影处理不易操作，容易产生缺陷，进而降低所制得的图案的品质。

有鉴于此，目前亟需发展一种显影操作时间较宽裕的正型感光性树脂组合物，以克服已知正型感光性树脂组合物的上述问题。

发明内容

因此，本发明的一方面在于提供一种正型感光性树脂组合物。此正型感光性树脂组合物包含酚醛清漆树脂(A)、邻萘醌二叠氮磺酸类的酯化物(B)、具有羟基苯基的含氮化合物及/或具有羟基的氮杂环化合物(C)及溶剂(D)，以提供较宽裕的显影操作时间。

本发明的另一在于提供一种图案形成方法，其是将前述的正型感光性树脂组合物依序施予涂布处理、预烤处理、曝光处理、显影处理及后烤处理，以形成良率较高的图案。

本发明的又一在于提供一种薄膜晶体管阵列基板，其包含前述的方法所形成的图案。

本发明的再一在于提供一种液晶显示器，其包含前述的薄膜晶体管阵列基板。

根据本发明的上述方面，提出一种正型感光性树脂组合物，此正型感光性树脂组合物可包含酚醛清漆树脂(A)、邻萘醌二叠氮磺酸类的酯化物(B)、具有羟基苯基的含氮化合物及/或具有羟基的氮杂环化合物(C)及溶剂(D)，以下析述之。

正型感光性树脂组合物

酚醛清漆树脂(A)

本发明的酚醛清漆树脂(A)包含高邻位酚醛清漆树脂(A-1)，且该高邻位酚醛清漆树脂(A-1)具有18％至25％的亚甲基键结于邻位-邻位上。该酚醛清漆树脂(A)亦可选择性地包含其他酚醛清漆树脂(A-2)。

高邻位酚醛清漆树脂(A-1)

该高邻位酚醛清漆树脂(A-1)一般是由芳香族羟基化合物及醛类，在2价金属盐催化剂存在下，于酸性(pH值为1至5)下经减压脱水后缩合而得。其次，可选择性再添加酸催化剂进行脱水缩合反应，并除去未反应的单体，其中此脱水缩合反应可参阅日本特开昭55-090523公报、特开昭59-080418号公报及特开昭62-230815号公报所揭示的反应方法，此处不另赘述。