[发明专利]光致抗蚀剂组合物有效
| 申请号： | 201510547622.0 | 申请日： | 2010-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN105175315B | 公开（公告）日： | 2018-08-28 |
| 发明（设计）人： | 仓久敏;鲛岛香织;国本和彦;P·内斯瓦德巴;大和昌纪 | 申请（专利权）人： | 巴斯夫欧洲公司 |
| 主分类号： | C07D211/94 | 分类号： | C07D211/94;C07D491/113;G03F7/00;G03F7/031;G03F7/40;G03F7/004;G03F7/027 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 肖威;刘金辉 |
| 地址： | 德国路*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于制造滤色片的含羟胺酯的可自由基聚合组合物。本发明进一步涉及一种新颖羟胺酯。本发明进一步涉及羟胺酯在所有需要后烘烤的液晶显示器组件中的用途。本发明涉及一种可自由基聚合组合物，其包含：(a)至少一种可碱显影树脂；(b)至少一种丙烯酸酯单体；(c)至少一种光引发剂；(d)至少一种式I的羟胺酯化合物；其中Ra表示酰基；Rb和Rc中的一个表示氢且另一个表示取代基；或者Rb和Rc二者各自表示氢或者相同或不同的取代基；或者Rb和Rc一起表示氧；或者Rb和Rc一起形成环；R1‑R4各自表示C1‑C6烷基；且R5和R6各自彼此独立地表示氢、C1‑C6烷基或C6‑C10芳基；或者R5和R6一起表示氧。 | ||
| 搜索关键词： | 光致抗蚀剂 组合 | ||
【主权项】：
1.一种制造滤色片的方法，其包括：I)将可自由基聚合的组合物施涂至支持体上，其中所述可自由基聚合的组合物包含：(a)至少一种可碱显影树脂；(b)至少一种丙烯酸酯单体；(c)至少一种光引发剂；和(d)至少一种式I的羟胺酯化合物：![]()
其中Ra表示‑C(＝O)C1‑C32烷基；Rb为氢，Rc为取代基‑O‑G；G为脂族羧酸的C2‑C32酰基或芳族羧酸的C7‑C15酰基；R1‑R4各自表示C1‑C6烷基；且R5和R6各自彼此独立地表示氢或C1‑C6烷基；II)干燥所述可自由基聚合组合物；III)使所述可自由基聚合组合物透过掩膜暴露于UV光中；IV)用碱性显影剂使曝光组合物层显影，形成着色的图案；和V)在180‑230℃下对曝光的光致抗蚀剂进行后烘烤。
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