[发明专利]金属膜形成方法有效
| 申请号： | 201510540239.2 | 申请日： | 2015-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN105386008B | 公开（公告）日： | 2020-01-21 |
| 发明（设计）人： | 织田真也;人罗俊实 | 申请（专利权）人： | 株式会社FLOSFIA |
| 主分类号： | C23C16/448 | 分类号： | C23C16/448 |
| 代理公司： | 44340 深圳瑞天谨诚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张佳 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种能够有利于工业上形成密合性优良的金属膜的金属膜形成方法以及通过其方法形成的金属膜。一种在基体上形成金属膜的金属膜形成方法，包括在氧化剂、胺化合物或者质子酸的有机溶剂中,使金属溶解或分散形成原料溶液，将原料溶液雾化产生雾的雾化工序，将载气提供给所述雾的载气供给工序,通过所述载气将所述雾提供给所述基体的供给工序和使所述雾热反应，在所述基体表面的一部分或者全部层积金属膜的金属膜形成工序。 | ||
| 搜索关键词： | 金属膜 形成 方法 | ||
【主权项】：
1.一种在基体上形成金属膜的金属膜形成方法，其特征为，含有如下：/n用载气充分置换成膜室的气体环境；/n在含有氧化剂、胺化合物或者质子酸的有机溶剂中，使金属溶解或分散而形成原料溶液，采用超声波将该原料溶液雾化产生雾；/n将所述载气以0.01至20L/分钟的流量提供给所述雾，所述雾用载气通过供给管内导入至成膜室内，通过所述载气将所述雾提供给到所述成膜室中还到所述基体；以及/n使所述雾发生热反应，在所述基体表面的一部分或者全部层积金属膜。/n
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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