[发明专利]一种具有超低粗糙度的Ni‑Nb金属薄膜及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201510522685.0 申请日: 2015-08-24
公开(公告)号: CN105039875B 公开(公告)日: 2017-04-12
发明(设计)人: 蒋建中;刘苏亚;钱星;曹庆平;王晓东 申请(专利权)人: 浙江大学
主分类号: C22C45/04 分类号: C22C45/04;C23C14/35;C23C14/18
代理公司: 杭州求是专利事务所有限公司33200 代理人: 林超
地址: 310027 浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明公开了一种具有超低粗糙度的Ni‑Nb金属薄膜及其制备方法。将Ni、Nb金属原料合成靶材放在多靶磁控溅射镀膜设备的靶位上;衬底采用硅单面抛光片,安装在基片架上,调节距离;腔体抽真空,然后充入氩气,调节腔内气压预溅射;再进行溅射;将硅单面抛光片取出,得到不同Ni、Nb组成成分的Ni‑Nb金属薄膜。本发明制备得到的金属薄膜材料表面粗糙度小于1nm,具有超光滑表面,可用在磁高能激光反射镜、激光陀螺反射镜、光学窗口等领域,作为功能元件则具有高可靠性、高频响、高灵敏性,具有很广的应用前景。
搜索关键词: 一种 具有 粗糙 ni nb 金属 薄膜 及其 制备 方法
【主权项】:
一种具有超低粗糙度的Ni‑Nb金属薄膜,其特征在于:其组成成分由Ni和Nb构成,组成成分Ni、Nb的含量分别为65.6±1.1at.%、34.4±1.1at.%,所述的Ni‑Nb金属薄膜为非晶态,厚度达到2.0±0.2微米;所述的Ni‑Nb金属薄膜在2um×2um的探测区域内的粗糙度低于1nm。
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  • 本发明涉及一种含Ni钴基非晶巨磁阻抗合金薄带及其制备方法,合金薄带的成分组成由化学式表示为Co68Fe7‑xNixSi15B10,其中,0<x≤6;首先配比母合金原料;将母合金原料反复熔炼并浇注成合金锭;将合金锭破碎并超声清洗;将清洗干净的块体合金采用单辊快淬法制备出非晶薄带。与现有技术相比,本发明采用具有优良软磁性能和优异力学性能的钴基合金为母合金,具有较好的流动性能,易于喷制。同时Ni元素的掺杂,使薄带的矫顽力减小,并且明显降低了各向异性,进而提高其GMI效应,具有较高的巨磁阻抗变化率和磁场灵敏度,能广泛应用于磁敏传感器技术领域。
  • 一种高储能非晶合金弹簧及其制备方法-201610548640.5
  • 徐水龙 - 苏州市虎丘区浒墅关弹簧厂
  • 2016-07-13 - 2016-12-07 - C22C45/04
  • 本发明提供了一种高储能非晶合金弹簧及其制备方法,所述的非晶合金弹簧包含的金属成分有钴、钛、镍、铜、铍,所述的制备方法包括如下步骤:a)熔炼母合金,b)制备石英管铸型,c)真空水淬法制取成品。本发明揭示了一种高储能非晶合金弹簧及其制备方法,该非晶合金弹簧制备工艺简单、无需热处理,不仅具有较高的储能和刚度,而且具有优良的抗疲劳性能。
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