[发明专利]感测器与感测器的制作方法

摘要

一种感测器与感测器的制作方法，感测器的制作方法包括以下步骤。于基板上形成主动元件。于基板上形成第一绝缘层以覆盖主动元件，其中第一绝缘层形成有第一开口以局部暴露出主动元件。于第一绝缘层上使用导电材料形成毯覆式导电层，其中毯覆式导电层经由第一开口连接主动元件。于毯覆式导电层上形成光电转换材料层。于光电转换材料层上形成第一光阻图案，并以第一光阻图案为掩膜，将光电转换材料层图案化成光电转换单元。图案化覆式导电层以形成第一电极，其中第一电极配置于第一开口中并将光电转换单元电性连接至主动元件。

主权项

一种感测器的制作方法，其特征在于，包括：于一基板上形成一主动元件；于该基板上形成一第一绝缘层以覆盖该主动元件，其中该第一绝缘层形成有一第一开口以局部暴露出该主动元件；于该第一绝缘层上使用一导电材料形成一毯覆式导电层，其中该毯覆式导电层经由该第一开口连接该主动元件；于该毯覆式导电层上形成一光电转换材料层；于该光电转换材料层上形成一第一光阻图案，并以该第一光阻图案为掩膜，将该光电转换材料层图案化成一光电转换单元；以及图案化该毯覆式导电层以形成一第一电极，其中该第一电极配置于该第一开口中并将该光电转换单元电性连接至该主动元件。