[发明专利]基于光纤出射光探测的组合悬臂梁探针传感方法及装置有效
| 申请号： | 201510381723.5 | 申请日： | 2015-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN105043255B | 公开（公告）日： | 2018-01-26 |
| 发明（设计）人： | 邹丽敏;倪赫;谭久彬 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙)23209 | 代理人： | 张伟 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 基于光纤出射光探测的组合悬臂梁探针传感方法及装置属于尺寸测量技术领域；激光光束通过光纤出射后经透镜聚焦，由光电探测器探测聚焦光斑的位置，当探针在接触物体时带动光纤出射端偏移，导致出射光在光电探测器上聚焦形成的光斑位置发生偏移，完成传感；所述装置由激光器、光纤、夹持器、透镜、光电探测器和探针装配构成；本发明的特点是探针制作方便且满足微型化需求、探测光的强度高且易于探测、具备三维探测能力、分辨力高、整体装置简单且尺寸较小。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 光纤 出射光 探测 组合 悬臂梁 探针 传感 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种基于光纤出射光探测的组合悬臂梁探针传感方法，其特征在于：激光光束通过光纤出射后经透镜聚焦，由光电探测器探测聚焦光斑的位置，当探针在接触物体时带动光纤出射端偏移，导致出射光在光电探测器上聚焦形成的光斑位置发生偏移，完成传感。
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