[发明专利]一种制备蝴蝶翅膀仿生微纳结构的方法

摘要

本发明属于微纳加工技术领域，具体为一种制备蝴蝶翅膀仿生微纳结构的方法。本发明首先在硅基底上采用旋涂法依次交替旋涂两种不同灵敏度的光刻胶若干层，然后利用电子束光刻对光刻胶进行曝光，再利用两种显影液对曝光后的样品进行交替显影，最终制备得到具有优异特性的分级层次周期或准周期仿生微纳结构，如仿闪蝶磷翅微纳结构等。本发明结合多层胶技术与电子束光刻技术，制备过程中不需要生物模板，并且能够控制每层胶的旋涂厚度，实现对纵向树枝状周期和占空比的精确控制，制备工艺简单，能得到不同结构参数的蝴蝶磷翅仿生微纳结构。

主权项

一种制备蝴蝶磷翅仿生微纳结构的方法，其特征在于具体步骤如下：（1）在Si基底表面旋涂上一层六甲基二硅胺HMDS；（2）再在Si基底上旋涂一层聚甲基丙烯酸甲酯PMMA光刻胶，烘胶后，在基底上再旋涂一层剥离抗蚀剂LOR，烘胶；（3）重复步骤2若干个周期，最后在基底上旋涂一层PMMA，制备出多层光刻胶；（4）利用电子束曝光方法，将设计好的图形在多层光刻胶上曝光；（5）对曝光后的基底显影：先用PMMA显影液显影，去除第一层PMMA被曝光的部分，再用碱性溶液对抗蚀剂LOR显影，形成倒T形的显影截面；（6）重复步骤5若干个周期，直到最后一层PMMA被显影，即得到最终的蝴蝶磷翅仿生微纳结构。